[发明专利]一种镀膜机

说明书

本公开是关于一种镀膜机，所述镀膜机(100)包括托台(1)、动力装置(2)以及传动装置(3)，所述托台(1)组装于所述动力装置(2)的基座(21)上，所述传动装置(3)与所述动力装置(2)传动连接；所述传动装置(3)的末端设置有遮挡件(31)，所述托台(1)上设置有收容基材的第一收容部(11)及收容所述遮挡件的第二收容部(12)，所述遮挡件(31)在所述传动装置(3)的推动下沿所述第二收容部(12)运动完全或部分遮挡所述基材。本公开可实现在同一基片上生长出一系列不同厚度的薄膜区域，确保整个薄膜的生长状态是一致的。

技术领域

本公开涉及镀膜领域，特别涉及一种镀膜机。

背景技术

在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此，当评价某薄膜样品的性能时，需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形，这往往需要进行多次试样的制备。

而这样多次制备样品存在两个问题：首先，不同次生长的样品，仪器的状态不同，以至于影响薄膜样品性能的因素可能不仅仅是厚度；其次，真空镀膜实验装取样品需要重新进行真空的获得，非常耗时。增加了生产和检测的成本。

因此，需要提供一种能在同一基片上生长不同厚度薄膜的设备来解决现有技术的不足。

发明内容

有鉴于此，本公开提供一种镀膜机，能在同一基片上生长出一系列不同厚度的薄膜，确保不同厚度薄膜生长状态的一致性。

具体地，本公开是通过如下技术方案实现的：

一种镀膜机，包括托台、动力装置以及传动装置，所述托台组装于所述动力装置的基座上，所述传动装置与所述动力装置传动连接；所述传动装置的末端设置有遮挡件，所述托台上设置有收容基材的第一收容部及收容所述遮挡件的第二收容部，所述遮挡件在所述传动装置的推动下沿所述第二收容部运动完全或部分遮挡所述基材。

进一步的，所述托台具有上表面、下表面及连接所述上下表面的若干端面，所述第一收容部上设有贯穿所述下表面并与所述第一收容部连通的镭射孔，所述第二收容部自所述托台的一所述端面沿平行于所述上表面的方向设置在所述托台内。

进一步的，所述第二收容部的末端设置在所述镭射孔的外侧。

进一步的，所述第一收容部自所述托台的上表面向主体内凹陷形成，所述镭射孔的中心线与所述第一收容部的中心线重合。

进一步的，所述传动装置包括与所述动力装置连接的第一传动件及组装于所述第一传动件上的第二传动件，所述第二传动件与所述遮挡件固定连接。

进一步的，所述第一传动件包括主体部及自所述主体部延伸形成的连接部，所述连接部与所述动力装置连接，所述主体部上设有滑槽，所述第二传动件通过设置在所述滑槽内的滑块与所述第一传动件固定连接。

进一步的，所述滑块具有突出于所述主体部的组装轴，所述组装轴上设有下平垫和上平垫，所述第二传动件套设在所述组装轴上并位于所述下平垫和上平垫之间。

进一步的，所述动力装置为步进电机，所述步进电机的基座包括组装所述托台的第一组装部及组装所述传动装置的第二组装部，所述第一组装部平行于所述第二组装部。

进一步的，所述托台上设有组装孔，所述托台通过设置于所述组装孔内的螺钉固定于所述基座上。

进一步的，所述托台上方进一步设有冷却机构，所述第一收容部还设有冷却块，所述冷却块的下表面与基材的上表面相贴合，所述冷却块的上表面与冷却机构相贴合。

与现有技术相比，本申请具有如下有益效果：通过遮挡件在镀膜过程中全部或部分遮挡射源，可直接在同一基片上生长出一系列不同厚度的薄膜区域，确保整个薄膜的生长状态是一致的。同时节约制备时间也便于装载、卸载。

附图说明