[发明专利]一种电离效果稳定的射频离子源中和器

权利要求书

1.一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极(110)、外罩体(170)、射频线圈(130)、绝缘电离腔体(140)及正离子收集极(150)；射频电源通过射频感抗匹配网络与射频线圈(130)连接；射频线圈(130)螺旋设于绝缘电离腔体(140)的外侧壁，外罩体(170)套设于射频线圈(130)的外侧，外罩体(170)无顶部及底部；绝缘电离腔体(140)罩设于正离子收集极(150)且与正离子收集极(150)围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体(140)开设有发射孔(180)，起辉维持极(110)开设有与发射孔(180)对应的第一通孔(190)；正离子收集极(150)开设有用于通入惰性气体的进气通道(200)，以及连通进气通道(200)和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔(160)；起辉维持极(110)用于维持中和器内部的电离状态；

绝缘电离腔体(140)的外侧壁设有螺旋线槽(141)，射频线圈(130)螺旋设于螺旋线槽(141)内；

所述离子源中和器还包括罩射于外罩体(170)外的屏蔽外壳(120)，屏蔽外壳(120)开设有与发射孔(180)对应的第二通孔(210)。

2.根据权利要求1所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，所述离子源中和器还包括设于外罩体(170)与屏蔽外壳(120)之间的导热片。

3.根据权利要求1所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，外罩体(170)的顶部设有上沿台阶(171)，射频线圈(130)位于上沿台阶(171)下。

4.根据权利要求3所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，绝缘电离腔体(140)外侧壁的底部设有用于支撑外罩体(170)的支撑部(142)。

5.根据权利要求1所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，外罩体(170)及绝缘电离腔体(140)为氮化铝陶瓷结构。

6.根据权利要求1所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，外罩体(170)上设有防卡死开口(172)。

7.根据权利要求1所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，所述离子源中和器还包括与正离子收集极(150)连接的正离子收集极电源；还包括与所述起辉维持极(110)连接的起辉维持极电源。

8.根据权利要求1至7任一项所述的一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，所述绝缘电离腔体(140)为圆柱形腔体，发射孔(180)设于绝缘电离腔体(140)远离正离子收集极(150)的一端的中部。