[发明专利]罐以及药液调制装置

说明书

技术领域

本发明涉及罐以及药液调制装置，该罐将调制规定浓度的各种药液的调制槽与贮存调制出的药液的贮存槽构成为一体，以便能够设置为有效地利用有限的设置空间，该药液调制装置具备这种构成为一体的罐，且能够自动地调制规定浓度的各种药液。

背景技术

各种各样的药液在各个产业领域中使用。为了最大限度地发挥作为药液的性能，这些药液需要是将有效成分以规定的浓度溶解于溶剂中而成的溶液。并且，开发并使用了自动地调制这种药液的药液调制装置。

药液调制装置具备在调制规定的浓度的药液时使用的调制槽。在多数情况下，药液调制装置不仅具备调制槽，还同时具备暂时贮存调制出的药液的贮存槽。并且，这些调制槽与贮存槽为药液调制装置中需要最大的设置空间的设备。

然而，在导入药液调制装置时，从最初便能够准备充足的设置空间的情况较少。经常不得不考虑将具有所需的调制容量的药液调制装置巧妙地设置在有效的设置空间中。在这种情况下，要求设计为能够将需要大的设置空间的调制槽与贮存槽设置为能够有效地利用有限的设置空间。

在专利文献1中公开了调制在半导体或液晶显示器的制造工艺中使用的显影液的药液调制装置。在专利文献1中，公开了分别独立地具备调制槽与贮存槽的以往型的药液调制装置，此外，公开了药液调制罐呈同轴状配置在药液贮存罐的内部的圆筒状的双重结构罐。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2002-324754号公报

然而，在专利文献1的双重结构罐中，为了将药液调制罐配置在药液贮存罐的内部，必需缩小药液调制罐。因此，在采用该双重结构罐的药液调制装置中，存在不得不削减作为药液调制装置的装置规格非常重要的调制容量的问题。

另外，在专利文献1的双重结构罐中，由于将药液调制罐配置在药液贮存罐的内部，因此难以对最要求充分地进行搅拌的药液调制罐的内部的药液进行搅拌，难以迅速地调制均匀的药液。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明是鉴于在先技术中发现的上述诸课题而完成的。即，本发明的目的在于提供如下的罐以及药液调制装置，该罐将调制槽与贮存槽以容易对调制槽进行搅拌的方式构成为一体，以便不极力削减调制容量即能够设置为有效地利用有限的设置空间，该药液调制装置具备这种构成为一体的罐，且能够自动地调制规定浓度的各种药液。

用于解决课题的方案

为了达成上述目的，本发明的罐具备如下特征，调制所设定的浓度的药液的调制槽与贮存所调制出的药液的贮存槽构成为一体。

本发明的优选方式的罐通过将调制槽与贮存槽中的任一方配置在另一方的内侧，从而将调制槽与贮存槽构成为一体。

在更优选的方式中，是贮存槽配置在调制槽的内侧且调制槽与贮存槽构成为一体的罐。此外，更优选该构成为一体的罐具备同轴双重圆筒形状。

本发明的优选方式的罐将调制槽与贮存槽隔开的隔壁是调制槽以及贮存槽的侧面的一部分，从而将调制槽与贮存槽构成为一体。即，通过两槽共用其侧面的一部分而构成为一体的罐。

本发明的优选方式的罐通过以调制槽的底面成为贮存槽的上表面的方式将调制槽配置在贮存槽之上，从而将调制槽与贮存槽构成为一体。

本发明的优选方式的罐具备多个调制槽，上述多个调制槽与贮存槽构成为一体。

根据本发明的罐，与分别独立地具备调制槽与贮存槽的药液调制用罐相比，能够设置为有效地利用有限的设置空间。另外，本发明的罐能够容易地对调制槽进行搅拌，从而迅速地调制均匀的药液。此外，与以往的罐相比，能够在不极力削减调制容量的情况下将调制槽与贮存槽构成为一体。

此外，在本发明的优选方式的罐中，在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁形成有供药液在调制槽与贮存槽之间流通的流路。此外，更优选形成有供气体在调制槽的上部空间与贮存槽的上部空间之间流通的气体连通路。

通过在将调制槽与贮存槽隔开的隔壁设置供药液流通的流路、供气体流通的气体连通路，从而在本发明的优选方式的罐中，无需配备以能够使药液、气体在贮存槽与调制槽之间流通的方式连接的配管、送液泵等设备。因此，与需要这些配管的以往的罐相比，能够形成能更加有效地利用设置空间的罐。