[发明专利]粒子成分分析装置及其使用方法以及粒子复合分析装置在审
申请号: | 201710176345.6 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN107271225A | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 长谷川祥树;武田直希;小泉和裕;浅野贵正 | 申请(专利权)人: | 富士电机株式会社 |
主分类号: | G01N1/22 | 分类号: | G01N1/22;G01N1/24;G01N15/02;G01N15/14;G05D23/24 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人: | 孙昌浩,李盛泉 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粒子 成分 分析 装置 及其 使用方法 以及 复合 | ||
1.一种粒子成分分析装置,其特征在于,具备:
捕获体,其捕获成为测定对象的气溶胶中的粒子;
能量线照射部,其向被所述捕获体捕获的所述粒子照射能量线;以及
分析器,其基于通过所述能量线的照射而从所述捕获体脱离的所述粒子的脱离成分对所述粒子的成分和每种成分的量中的至少一项进行分析;
所述捕获体具有温度测定部,
所述粒子成分分析装置还具备控制部,所述控制部基于通过所述温度测定部测得的所述捕获体的温度,对所述能量线照射部的输出进行控制。
2.根据权利要求1所述的粒子成分分析装置,其特征在于,所述捕获体具有在预定的方向上层叠的多个筛孔结构体,
所述多个筛孔结构体中的每一个具有:
筛孔部;以及
支撑框部,其位于所述筛孔部的周围并且支撑所述筛孔部,
所述温度测定部被设置在所述支撑框部。
3.根据权利要求2所述的粒子成分分析装置,其特征在于,所述控制部使用设置于除了所述多个筛孔结构体中的位于相对于所述能量线的最表层的筛孔结构体的正面以外的、多个筛孔结构体中的任一面的所述温度测定部来控制所述能量线照射部的输出。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的粒子成分分析装置,其特征在于,所述捕获体所具有的所述温度测定部是测温电阻器和热敏电阻中的任一个。
5.根据权利要求2或3所述的粒子成分分析装置,其特征在于,所述多个筛孔结构体中的每一个是加工得到的SOI基板,
所述温度测定部是设置于所述SOI基板的薄膜测温电阻器。
6.一种粒子复合分析装置,其特征在于,具备:
权利要求1~5中任一项所述的粒子成分分析装置;
粒子测量装置,其向成为测定对象的气溶胶的所述粒子照射激光,基于来自所述粒子的光对所述粒子的数目和大小中的至少一项进行测量。
7.一种粒子成分分析装置的使用方法,所述粒子成分分析装置具备:具有温度测定部的捕获体、能量线照射部、分析器和控制部,所述粒子成分分析装置对气溶胶中的粒子的成分和每种成分的量中的至少一项进行分析,所述粒子成分分析装置的使用方法的特征在于,包括:
所述能量线照射部向被所述捕获体捕获的成为测定对象的所述粒子照射能量线,通过所述能量线的照射而产生从所述捕获体脱离的所述粒子的脱离成分的步骤;
所述温度测定部对所述捕获体的温度进行测定的步骤;
所述控制部基于通过所述温度测定部测得的所述捕获体的温度来对所述能量线照射部的输出进行控制的步骤;以及
所述分析器对所述脱离成分进行分析的步骤。
8.根据权利要求7所述的粒子成分分析装置的使用方法,其特征在于,还具备如下步骤中的1个以上的步骤:
在通过所述温度测定部测得的温度与预定的温度相等的情况下,所述控制部维持所述能量线照射部的输出的步骤;
在通过所述温度测定部测得的温度低于预定的温度的情况下,所述控制部提高所述能量线照射部的输出的步骤;以及
在通过所述温度测定部测得的温度高于预定的温度的情况下,所述控制部降低所述能量线照射部的输出的步骤。
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