[发明专利]环境监测系统

说明书

本发明实施例提供一种环境监测系统用于监测洁净室的环境参数。环境监测系统包括装载盒、运载单元以及处理器。装载盒包括壳体、无线通信模块以及传感器。传感器及无线通信模块设置于壳体内，其中传感器用以感测环境参数。运载单元包括导轨以及运载机构。导轨布设于洁净室内，运载机构被配置为拾取装载盒并沿着导轨运载装载盒。传感器随着装载盒于洁净室内移动并进行感测，以产生多个感测信息。处理器耦接无线通信模块，装载盒通过无线通信协议传送感测信息至处理器。

技术领域

本发明实施例涉及一种环境监测系统。

背景技术

随着科技愈趋进步，电子化产品的推陈出新，半导体领域与集成电路量产制造工艺也越来越不可获缺。并且，随着量产制造工艺技术与材料之改良、半导体组件几何尺寸之持续缩小，相对地，业界对洁净室作业环境的质量要求亦越来越高，一般希望以对杂质微粒的有效控制与改善，而达到高科技产业对于产品生产的高制造环境质量要求。

有鉴于此，传感器通常被用于监测洁净室的杂质微粒量、温度、湿度等环境参数。目前通常需要通过技术人员手动将各种传感器移动至洁净室的每个角落以进行测量，这种方法相当耗费人力且效率不彰。或者是于整个洁净室内满布多个传感器，然而，这种方法会大幅提高环境监控的成本。此外，这些传感器所测量到的结果还须再手动上传至数据库进行运算处理，因而无法迅速地得到监测结果。

发明内容

本发明实施例是针对一种环境监测系统，其可提升环境监测的效率以及降低环境监测所须的人力及成本。

根据本发明的实施例，环境监测系统用于监测洁净室的环境参数。环境监测系统包括装载盒、运载单元以及处理器。装载盒包括壳体、无线通信模块以及传感器。传感器及无线通信模块设置于壳体内，其中传感器用以感测环境参数。运载单元包括导轨以及运载机构。导轨布设于洁净室内，运载机构用于拾取装载盒并沿着导轨运载装载盒。传感器随着装载盒于洁净室内移动并进行感测，以产生多个感测信息。处理器耦接无线通信模块，装载盒通过无线通信协议传送感测信息至处理器。

附图说明

结合附图阅读以下详细说明，会最好地理解本发明实施例的各个方面。应注意，根据本行业中的标准实务，各种特征并非按比例绘制。事实上，为论述清晰起见，可任意增大或减小各种特征的尺寸。

图1是根据本发明某些示例性实施例的环境监测系统的示意图；

图2是根据本发明某些示例性实施例的环境监测系统的方块示意图；

图3是根据本发明某些示例性实施例的环境监测系统的导轨及定位基地的配置示意图；

图4是根据本发明某些示例性实施例的环境监测系统的装载盒的示意图。

附图标号说明

100：环境监测系统；

110：装载盒；

111：壳体；

112：无线通信模块；

113：传感器；

114：卡槽；

116：电性接点；

118：提把；

130：运载单元；

132：导轨；

134：运载机构；

134a：升降手臂；

140：处理器；

150：定位基地；

152：上表面；

CR：洁净室；