[发明专利]一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法有效

专利信息
申请号: 201710177557.6 申请日: 2017-03-23
公开(公告)号: CN107012449B 公开(公告)日: 2019-03-29
发明(设计)人: 马汉青;欧阳一平;徐僖禧;李志远;沈诗雯;孙哲;张志华 申请(专利权)人: 同济大学
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 赵志远
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 单层 堆叠 新型 镀膜 方法
【权利要求书】:

1.一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,该方法是先在多个基底上分别镀上单层膜,然后通过反向堆叠使其中两个单层膜上下堆积,经热处理后,再腐蚀掉上层基底,制得复合双层膜,通过反向堆叠使复合双层膜上再堆积一个单层膜,经热处理后,腐蚀掉上层基底,制得复合三层膜,依次重复反向堆叠、热处理、腐蚀,即可制得多个单层膜堆叠而成的复合膜,

所述的单层膜通过溶胶凝胶法镀附在基底上,所述的基底为纯度大于99%的铜箔基底,所述的腐蚀采用的腐蚀液为亚硫酸铵溶液。

2.根据权利要求1所述的一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,所述的铜箔基底的厚度为0.01-0.1mm。

3.根据权利要求1所述的一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,所述的热处理的条件为:控制温度为50-100℃,加热时间为1-5分钟。

4.根据权利要求1所述的一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,所述的单层膜包括二氧化硅单层膜、二氧化锆单层膜或二氧化钛单层膜中的一种或几种。

5.根据权利要求4所述的一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,所述的二氧化硅单层膜的折射率为1.43-1.47,所述的二氧化锆单层膜的折射率为2.14-2.20,所述的二氧化钛单层膜的折射率为2.63-2.67。

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