[发明专利]一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法有效
申请号: | 201710177557.6 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN107012449B | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 马汉青;欧阳一平;徐僖禧;李志远;沈诗雯;孙哲;张志华 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 赵志远 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 单层 堆叠 新型 镀膜 方法 | ||
1.一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,该方法是先在多个基底上分别镀上单层膜,然后通过反向堆叠使其中两个单层膜上下堆积,经热处理后,再腐蚀掉上层基底,制得复合双层膜,通过反向堆叠使复合双层膜上再堆积一个单层膜,经热处理后,腐蚀掉上层基底,制得复合三层膜,依次重复反向堆叠、热处理、腐蚀,即可制得多个单层膜堆叠而成的复合膜,
所述的单层膜通过溶胶凝胶法镀附在基底上,所述的基底为纯度大于99%的铜箔基底,所述的腐蚀采用的腐蚀液为亚硫酸铵溶液。
2.根据权利要求1所述的一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,所述的铜箔基底的厚度为0.01-0.1mm。
3.根据权利要求1所述的一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,所述的热处理的条件为:控制温度为50-100℃,加热时间为1-5分钟。
4.根据权利要求1所述的一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,所述的单层膜包括二氧化硅单层膜、二氧化锆单层膜或二氧化钛单层膜中的一种或几种。
5.根据权利要求4所述的一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法,其特征在于,所述的二氧化硅单层膜的折射率为1.43-1.47,所述的二氧化锆单层膜的折射率为2.14-2.20,所述的二氧化钛单层膜的折射率为2.63-2.67。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理