[发明专利]一种多轴悬浮式低频振动传感器

权利要求书

1.一种多轴悬浮式低频振动传感器，其特征在于：包括壳体(1)、电磁线圈(2)、立方体形铁磁体(3)、微弹簧(4)和霍尔位移传感器(5)；电磁线圈(2)的顶端固连在壳体(1)顶部，微弹簧(4)下端固定在壳体(1)底部、微弹簧(4)上端与立方体形铁磁体(3)底部固连，两个霍尔位移传感器(5)分别安装在壳体(1)的两侧，立方体形铁磁体(3)相当于该多轴悬浮式低频振动传感器形成的振动系统中的质量块；

电磁线圈(2)、立方体形铁磁体(3)以及微弹簧(4)同轴心，电磁线圈(2)和立方体形铁磁体(3)之间产生一定电磁吸力，在该电磁吸力与微弹簧(4)产生的轴向拉力共同作用下，质量块保持稳定悬浮；

当壳体(1)敏感被测振动时，立方体形铁磁体(3)的悬浮位置发生变化，致使电磁线圈(2)电感变化，利用轴向位移检测电路将电磁线圈(2)电压进行滤波、解调，可检测其轴向位移变化；

霍尔位移传感器(5)安装在与传感器轴向垂直且经过质量块质心的平面上，两个霍尔位移传感器的安装位置相互垂直，壳体(1)敏感被测振动时，利用霍尔位移传感器(5)测量质量块除轴向外其他两个水平方向的振动，实现多方向振动参数的测量；

微弹簧(4)的弹性系数较小，该传感器的等效支撑刚度和阻尼可以调节至很小，从而降低了整个系统的机械固有频率，扩展了传感器的测量下限频率；

传感器根据测量振动信号量程，可以主动控制系统的支承刚度和阻尼，从而有效降低系统的机械固有频率，扩展了该传感器的应用范围。