[发明专利]一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法

权利要求书

1.一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，该方法包括：在所述微悬臂梁上制备局域等离激元结构、采集因光激励微悬臂梁振动所发出的振动信号。

2.根据权利要求1所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，在所述微悬臂梁上制备局域等离激元结构的方法包括：对微悬臂梁在真空中溅射金属膜、然后在氮气氛围对所述微悬臂梁进行退火处理：在微悬臂梁表面形成金属纳米颗粒。

3.根据权利要求2所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，所述的金属膜为金膜；所述金属纳米颗粒为金纳米颗粒。

4.根据权利要求3所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，所述对微悬臂梁在真空中溅射金膜的具体方法为：利用真空溅射仪对微悬臂梁在真空中溅射金膜，真空度设置为10mbar，电流为10mA，溅射时间为30-240s，优选的，所述溅射时间分别为30s，60s，90s，120s，240s。

5.根据权利要求4所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，在氮气氛围对所述微悬臂梁进行退火处理的方法为，退火温度为500℃。

6.根据权利要求1所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，采集因光激励微悬臂梁振动所发出的振动信号的步骤如下：

所述光激励对应的光波长为：使所述等离激元产生共振的光波长。

7.根据权利要求6所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，所述光激励对应的光波长为：365-940nm，优选的，所述光激励对应的光波长为：523nm。

8.根据权利要求1所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，所述光激励是利用发光二极管对具有局域等离激元结构的微悬臂梁进行照射，热梯度效应和双层膜效应共同作用激励其振动：发光二极管发光中心波长为365-940nm；优选的，所述发光二极管发光中心波长分别为365nm，385nm,425nm，460nm,523nm,620nm，850nm,940nm。

9.根据权利要求1所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，利用激光测振仪采集微悬臂梁的振动信号。

10.根据权利要求9所述的一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，所述采集振动信号后，将采集到的振动信号通过锁相放大器，经放大和带通滤波后与参考信号共同输入混频器得到的结果，再通过低通滤波器滤波后得到其振动信号的频域响应，其中，所述参考信号锁定为锁相放大器内部输出的正弦信号。