[发明专利]一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法

权利要求书

1.一种判别并记录硅片位置的检测装置，其特征在于：检测装置由机械结构模块和信号采集模块两部分构成；

其中机械结构模块包括硅片(1)、硅片盒(2)、竖直支架(3)、水平支架(9)、气缸本体(4)、气缸活塞(5)、水平导轨(8)、传感器连接板(12)和滑块横梁(6)；

硅片(1)放置在硅片盒(2)的插槽中，硅片盒(2)和竖直支架(3)底部安装在同一工作平面上，竖直支架(3)通过螺栓安装在工作平面上，水平支架(9)与竖直支架通过螺栓连接，气缸本体(4)安装在竖直支架的上端水平部分的中间位置上，气缸活塞(5)方向与水平支架(9)方向一致，水平导轨(8)安装在水平支架(9)上，水平导轨(8)的两个滑块上安装有滑块横梁(6)，滑块横梁的一侧安装传感器连接板(12)，另一侧与气缸活塞(5)相连接；

所述的信号采集模块包括红外线距离传感器(7)、采集卡(10)和工控机(11)；红外线距离传感器(7)通过螺栓安装在传感器连接板(12)上，传感器的信号发射二极管和接收二极管方向向下，信号发射路线沿竖直方向，气缸活塞(5)推动红外线距离传感器(7)沿水平方向运动，同时红外线距离传感器(7)向硅片(1)发射信号，反射回来的信号通过采集卡(10)传输给工控机(11)，工控机(11)对采集到的信号进行分析处理；

硅片盒(2)各层插槽的排列方式变为梯形排列，每相邻两层插槽位置的中心在水平方向的距离都为1mm。

2.利用权利要求1所述装置进行的一种判别并记录硅片位置的检测方法，其特征在于：红外线距离传感器(7)安装位置距离硅片盒(2)的最上层插槽为10cm，气缸活塞(5)推动红外线距离传感器(7)沿水平方向移动，同时红外线距离传感器(7)的信号发射二极管向硅片发射信号，信号经过硅片反射后被接收二极管接收，通过采集卡(10)传输给工控机(11)，不同位置的硅片反射回来的信号不同，工控机(11)通过软件对采集到的信号进行分析处理并归类，机械手便根据工控机(11)分析的数据进行工作。