[发明专利]一种光掩膜版以及石墨烯发光显示器件的制备方法

说明书

本发明涉及显示技术领域，尤其是一种石墨烯发光显示器的制备方法，包括如下步骤：在形成有薄膜晶体管的基板表面，制备氧化石墨烯薄膜；提供一光掩膜版与所述氧化石墨烯薄膜对应，使光通过所述光掩膜版辐射到所述氧化石墨烯薄膜上，形成石墨烯发光晶体管的源极、漏极和石墨烯量子点层；其中，所述光掩膜版包括：全透明部，其对应于所述源极、漏极所在区域；遮光部，其对应于所述薄膜晶体管所在区域；半透明部，其对应于所述石墨烯量子点层的所在区域；在形成石墨烯发光晶体管的基板表面依次形成绝缘层和隔水隔氧层。本发明还提供这种石墨烯发光显示器的结构。本发明石墨烯发光晶体管的源漏极采用相同的电极材料，制备工艺一道光掩膜版即可成型。

技术领域

本发明属于液晶显示技术领域，具体地讲，涉及一种新型的石墨烯发光显示器件及其制备方法。

背景技术

随着技术的不断进步和人们对生活要求不断提高，石墨烯具有质地坚硬，透明高(穿透率≈97.7％)，导热系数高(达5300W/m·K)，电子迁移率高(超过15000cm²/V·s)等优良特性，近年来在显示器上的应用，逐渐增多，尤其是在触摸屏的应用(作为替代传统透明导电薄膜ITO)和在LED方面的应用。

近年来由于石墨烯发光元件的出现，使石墨烯在显示领域的应用得以扩展。采用石墨烯材料制作的可通过栅极电压调节石墨烯发光晶体管发光颜色。

但是，目前应用石墨烯制备柔性显示器件的制程和工艺繁复，造成成本高昂，亟待简化制备工艺以降低成本。

例如，利用氧化石墨烯经过光照后可以转化为还原石墨烯，具有能够作为源极、漏极的导电特征；而调整光照工艺参数后，氧化石墨烯可以部分转化为还原石墨烯，而具有半导体的特征。而没有光辐照的氧化石墨烯具有绝缘体的特征，又可被用作绝缘层的制备。但是，由于需要不同图形的掩膜版以及不同的光辐照参数，而使得这些工艺步骤均需要一个一个独立进行，费时费力。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明提供一种石墨烯发光显示器的制备方法，包括如下步骤：

在形成有薄膜晶体管的基板表面，制备氧化石墨烯薄膜；

在形成有薄膜晶体管的基板表面，将氧化石墨烯分散液涂布均匀，形成氧化石墨烯薄膜；

提供一光掩膜版与所述氧化石墨烯薄膜对应，使光通过所述光掩膜版辐射到所述氧化石墨烯薄膜上，形成石墨烯发光晶体管的源极、漏极和石墨烯量子点层；

在形成石墨烯发光晶体管的基板表面依次形成绝缘层和隔水隔氧层；

其中，所述光掩膜版包括：

全透明部，其对应于所述源极、漏极所在区域；

遮光部，其对应于所述薄膜晶体管所在区域；

半透明部，其对应于所述石墨烯量子点层的所在区域。

其中，所述光为蓝色光。

其中，所述光的工作波长为420～660nm。

其中，所述石墨烯栅极的材质为钼铝合金、铝银合金、铜钼铝合金中的一种。

本发明还提供这种石墨发光烯显示器，包括：设置在基板上的若干个子像素单元，每个子像素单元包括：形成在基板上的驱动模块、开关模块和栅极，以及，形成在所述栅极上的栅极绝缘层、形成在所述栅极绝缘层上的源极、漏极以及连接于所述源极、漏极之间的石墨烯量子点层；所述开关模块与所述源极电连接，所述驱动模块与所述栅极电连接。

其中，所述驱动模块使所述栅极至少具有三种电压模式，包括：

第一电压模式，使所述石墨烯量子点层发出红色光；

第二电压模式，使所述石墨烯量子点层发出绿色光；