[发明专利]能量敏感性组合物、固化物及固化物的制造方法

权利要求书

1.能量敏感性组合物，其包含：

选自下述组中的至少1种化合物成分(P)、和

(Q)下述式(a1)表示的锍盐，

所述组由：

(P1)基于阳离子性及/或酸催化性方式的聚合性以及/或者交联性化合物、

(P2)在酸的作用下在显影液中的溶解性增大的化合物、和

(Px)自由基聚合性或交联性的化合物

构成，

式(a1)中，R¹和R²独立地表示可被卤素原子取代的烷基或下述式(a2)表示的基团，R¹和R²可相互键合并与式中的硫原子一同形成环，R³表示下述式(a3)表示的基团或下述式(a4)表示的基团，A¹表示S、O、或Se，X^-表示一价的阴离子，其中，R¹和R²不会同时为可被卤素原子取代的烷基，

式(a2)中，环Z¹表示苯环或稠合多环式芳香族烃环，R⁴表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、烷氧基羰基、酰氧基、烷基硫基、噻吩基、噻吩基羰基、呋喃基、呋喃基羰基、硒吩基、硒吩基羰基、杂环式脂肪族烃基、烷基亚磺酰基、烷基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m1表示0以上的整数，

式(a3)中，R⁵表示亚烷基或下述式(a5)表示的基团，所述亚烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，R⁶表示烷基或下述式(a6)表示的基团，所述烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，A²表示单键、S、O、亚磺酰基、或羰基，n1表示0或1，

式(a4)中，R⁷和R⁸独立地表示亚烷基或下述式(a5)表示的基团，所述亚烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，R⁹和R¹⁰独立地表示可被卤素原子取代的烷基或所述式(a2)表示的基团，R⁹和R¹⁰可相互键合并与式中的硫原子一同形成环，A³表示单键、S、O、亚磺酰基、或羰基，X^-如上所述，n2表示0或1，其中，R⁹和R¹⁰不会同时为可被卤素原子取代的烷基，

式(a5)中，环Z²表示芳香族烃环，R¹¹表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m2表示0以上的整数，

式(a6)中，环Z³表示芳香族烃环，R¹²表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、噻吩基羰基、呋喃基羰基、硒吩基羰基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m3表示0以上的整数。