[发明专利]一种自动扫描发射探针装置有效
| 申请号： | 201710184866.6 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106888543B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陆文琪;李建泉;徐军;王奇 | 申请（专利权）人： | 大连理工常州研究院有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 213300 江苏省常州市武进区常武中路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 扫描 发射 探针 装置 | ||
1.一种自动扫描发射探针装置，其特征在于：由计算机(1)、数据采集卡(2)、隔离运放a(3)、隔离运放b(4)、探针加热电路(5)、探针扫描偏置电路(6)和探针(7)组成；探针(7)置于等离子体(8)中；数据采集卡(2)的模拟输出通道a(9)通过隔离运放a(3)连接探针加热电路(5)，探针加热电路(5)两输出端连接探针(7)两端，向探针(7)提供加热电流；探针(7)加热电流大小由模拟输出通道a(9)的信号控制；数据采集卡(2)的模拟输出通道b(10)连接探针扫描偏置电路(6)，探针扫描偏置电路(6)两输出端分别连接探针加热电路(5)和等离子体参考地(14)，探针扫描偏置电路(6)产生扫描偏置电压加在探针(7)和等离子体参考地(14)之间，扫描偏置电压大小由模拟输出通道b(10)的信号控制；探针加热电流信号通过隔离运放b(4)由数据采集卡(2)的模拟输入通道a(11)采集、探针偏置电压信号和探针发射/收集电流信号分别由数据采集卡(2)的模拟输入通道b(12)和模拟输入通道c(13)采集；所述探针(7)为耐高温金属丝，中部小于1毫米的部分涂有电子粉，其他部分裸露。
2.根据权利要求1所述的一种自动扫描发射探针装置，其特征在于：所述数据采集卡(2)有至少两个模拟输出通道和至少三个模拟输入通道。
3.根据权利要求1所述的一种自动扫描发射探针装置，其特征在于：所述探针(7)为直径10微米至50微米、长3毫米至10毫米的耐高温金属丝。
4.根据权利要求3所述的一种自动扫描发射探针装置，其特征在于：所述耐高温金属丝为钨丝或钼丝或钽丝。
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