[发明专利]一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉在审
申请号: | 201710186813.8 | 申请日: | 2017-03-27 |
公开(公告)号: | CN108660505A | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 袁玉平 | 申请(专利权)人: | 江苏恒合科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/32;C30B15/28;C30B29/06 |
代理公司: | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 丁骞 |
地址: | 214264 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 上炉 拉晶 炉盖 炉桶 提拉 晶体生长炉 组合式坩埚 分离杂质 加料 称重器 化料 立柱 坩埚 单晶硅棒 加料器 侧方 拉头 | ||
本发明涉及一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,它包括炉桶,在所述炉桶内设有组合式坩埚,在所述炉桶上部设有炉盖,在所述炉盖中部上方设有上炉桶Ⅰ,在所述炉盖上侧方设有加料器,在所述上炉桶Ⅰ内设有提拉头Ⅰ,所述上炉桶Ⅰ与立柱相连,所述立柱与上炉桶Ⅱ相连,在所述上炉桶Ⅱ内设有提拉头Ⅱ,在所述提拉头Ⅰ顶部设有称重器Ⅰ,在所述拉头Ⅱ顶部设有称重器Ⅱ,所述组合式坩埚由外坩埚和内坩埚组成。本发明可以大大降低拉晶成本,又可以提高单晶硅棒品质。
技术领域
本发明涉及一种晶体生长炉,具体涉及一种同步连续拉晶的晶体生长炉。
背景技术
随着社会的发展,人民生活的不断提高,对电的需求越来越多,传统煤和石化原料发电既消耗了不可再生的资源,又对大气造成了严重污染,发展清洁能源越来越被全世界人民公认,特别是太阳能发电在清洁能源中是最理想的能源,但是由于制作成本偏高,严重制约它的大规模发展。
目前单晶硅棒拉制的方法是分步法,所谓分步法就是:装料-化料-拉晶-拉完可用的料-停炉-取棒-清炉,都是独立进行,其存在生产效率低,单晶硅棒的品质低,生产成本高等问题。
发明内容
发明目的:本发明的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种可以大大降低拉晶成本,又可以提高单晶硅棒品质的晶体生长炉。
技术方案:为了解决上述技术问题,本发明所述的一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,它包括炉桶,在所述炉桶内设有组合式坩埚,在所述炉桶上部设有炉盖,在所述炉盖中部上方设有上炉桶Ⅰ,在所述炉盖上侧方设有加料器,在所述上炉桶Ⅰ内设有提拉头Ⅰ,所述上炉桶Ⅰ与立柱相连,所述立柱与上炉桶Ⅱ相连,在所述上炉桶Ⅱ内设有提拉头Ⅱ,在所述提拉头Ⅰ顶部设有称重器Ⅰ,在所述拉头Ⅱ顶部设有称重器Ⅱ,所述组合式坩埚由外坩埚和内坩埚组成,在所述内坩埚侧壁上设有开口,在所述加料器和组合式坩埚之间设有加料管,在所述加料器与炉盖之间设有气管。
所述加料管一端设在外坩埚和内坩埚之间。
在所述炉盖上设有测温口。
有益效果:本发明与现有技术相比,其显著优点是:本发明整体结构设置合理,采用提拉头Ⅰ和提拉头Ⅱ,两者可以切换使用,同时配合加料器和称重器,在拉晶时确保拉出晶体质量和添加硅料质量一致,因此长晶液面位置是恒定的,长晶液面的温度波动就很小,长晶时就会很稳定,再利用组合式坩埚,拉晶、加料、化料、分离杂质同步进行,节省了以前装料、化料、晶棒冷却、停炉、清炉的时间,拉速明显提高,拉晶的稳定性也明显提高,产能是目前单晶炉的2.5倍以上,符合实际使用要求。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图;
图2是本发明中所述组合式坩埚的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
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