[发明专利]一种制备复合物场效应晶体管的方法有效
申请号: | 201710192082.8 | 申请日: | 2017-03-28 |
公开(公告)号: | CN108666422B | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 吴雨辰;刘芸;江雷 | 申请(专利权)人: | 北京赛特超润界面科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/40 | 分类号: | H01L51/40;H01L51/05;H01L51/30 |
代理公司: | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人: | 王宇杨;武玥 |
地址: | 101320 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 场效应晶体管 石墨烯复合物 复合物分散液 混合分散液 聚合物溶液 制备复合物 有机溶剂 聚合物 石墨烯 微柱 表面吸附聚合物 单纯聚合物 聚合物分子 微电子器件 复合结构 平板表面 一维阵列 规整 复合物 自组装 硅片 抽滤 滴加 基底 制备 浸泡 清洗 溶解 | ||
1.一种制备复合物场效应晶体管的方法,包括以下步骤:
1)将聚合物分子溶解在有机溶剂中得到聚合物溶液,将石墨烯浸泡于聚合物溶液中,使石墨烯与聚合物分子相互吸附,得到混合分散液;
2)利用过滤膜对混合分散液进行抽滤,将滤渣烘干后得到表面吸附聚合物的石墨烯复合物;
3)将步骤2)得到的石墨烯复合物再次分散于有机溶剂中,制得复合物分散液;
4)将复合物分散液滴加在具有微柱结构的硅片上并盖上一层平板基底,使聚合物-石墨烯复合物在微柱顶端自组装成规整的一维阵列,制成复合物场效应晶体管。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤2)抽滤后使用与步骤1)相同的有机溶剂对滤渣进行淋洗,然后再抽滤,除去多余的聚合物分子。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤1)所述聚合物溶液的浓度为0.01-0.05mg/mL;所述混合分散液中石墨烯和聚合物的质量比为1:0.05~1:1。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤1)所述聚合物分子是聚噻吩类p型共轭高分子。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤1)所述有机溶剂为邻二氯苯、四氢呋喃、二氯甲烷、N,N-二甲基甲酰胺和氯苯等中的一种或几种。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤2)所述过滤膜为醋酸纤维素膜,其孔径为0.2-0.45μm;或者,所述过滤膜为氧化铝滤膜,其孔径为0.02-0.2μm。
7.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤3)所述有机溶剂为DMF、四氢呋喃、二氯甲烷、邻二氯苯和氯苯等中的一种或几种。
8.根据权利要求1、2或7所述的方法,其特征在于,步骤3)所述复合物分散液的浓度为0.01-0.1mg/mL。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤4)所述微柱之间的间距为5-20μm,微柱的宽度为2-10μm。
10.根据权利要求1、2或9所述的方法,其特征在于,步骤4)所述平板基底为玻璃基底、ITO或导电硅片。
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