[发明专利]一种具有VO2镀膜的智能节能玻璃的镀膜工艺

权利要求书

1.一种具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，包括玻璃基底、VO₂镀层和增透层，其特征在于，所述具有VO₂镀膜的智能节能玻璃的镀膜工艺，包括以下步骤：

步骤S1，玻璃前处理：将所述玻璃基底放入体积分数为50％～70％的乙醇溶液中，进行超声清洗5min～8min，清洗2次～3次，然后烘干备用；

步骤S2，VO₂镀层：将步骤S1处理后的玻璃基底作为衬底放入真空室中的阴极位置上，将钨掺杂纳米VO₂作为镀层材料放入真空室内，抽真空至真空度为10^-4Pa～10^-6Pa，加热玻璃基底，然后充入氩气使真空度为10^-1Pa～10^-2Pa，开启电源，对玻璃基底施加负偏压500V～800V，进行辉光放电清洗6min～10min，然后在真空室内充入氮气至真空度为10^-1Pa～10^-2Pa，对玻璃基底施加负偏压为160V～200V，调解多弧电流至250A～300A，进行多弧离子镀VO₂镀层，即得具有VO₂镀层的玻璃基底；

步骤S3，增透层：将Nd₂O₅和B₂O₃混合作为镀层材料，所述Nd₂O₅和B₂O₃的质量比为：1:0.05～0.1，放入真空室的坩埚中，将步骤S2得到的具有VO₂镀层的玻璃基底作为衬底放入真空室中，抽真空至真空度为10^-2Pa～10^-4Pa，然后开启电源，采用电子束蒸发源加热镀膜，镀膜完成后，即得所述具有VO₂镀膜的智能节能玻璃。

2.根据权利要求1所述的具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，其特征在于，所述VO₂镀层的厚度为：20nm～30nm。

3.根据权利要求1所述的具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，其特征在于，所述增透层的厚度为：30nm～50nm。

4.根据权利要求1所述的具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，其特征在于，步骤S2中，所述钨掺杂纳米VO₂的粒径为：30nm～50nm。

5.根据权利要求1所述的具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，其特征在于，步骤S2中，所述玻璃基底加热后的温度为：200℃～300℃。

6.根据权利要求1所述的具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，其特征在于，步骤S2中，所述充入氮气的体积为：氩气体积的10％～20％。

7.根据权利要求1所述的具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，其特征在于，步骤S2中，所述多弧离子镀VO₂镀层的镀膜时间为：30min～40min。

8.根据权利要求1所述的具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，其特征在于，步骤S3中，所述电子束蒸发源加热的温度为：1000℃～1200℃。

9.根据权利要求1所述的具有VO₂镀膜的智能节能玻璃，其特征在于，步骤S3中，所述镀膜的时间为：40min～50min。