[发明专利]一种基于ANSYS计算微电子器件增加水分含量的方法

权利要求书

1.一种基于ANSYS计算微电子器件增加水分含量的方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）采用ANSYS软件构建微电子器件的实体模型；

（2）对微电子器件的实体模型进行有限元网络划分，将微电子器件的实体模型分为n个单元；

（3）将ANSYS软件中的热传导分析的参数对应设置成潮湿扩散分析的参数；所述热传导分析的参数包括物体吸收的能量q、温度T、密度ρ、比热容c、热传导率K；所述潮湿扩散分析的参数包括微电子器件吸收水分的重量G、相对湿度w、密度ρ_c、饱和潮湿度Csat、潮湿扩散度D；其中温度T对应相对湿度w；比热容c对应饱和潮湿度Csat，热传导率K对应潮湿扩散度D与饱和潮湿度Csat的乘积；所述潮湿扩散分析中密度ρ_c=1；

（4）利用ANSYS软件对微电子器件进行加载外界环境的温度T，即可得相对湿度w；

（5）利用ANSYS软件计算微电子器件的实体模型每个单元的体积V_i（i=1,2,···,n）；

（6）根据公式q=c*m*△t和m=ρ*V可得G=Csat*ρ_c*V*w；根据潮湿扩散分析中密度ρ_c=1可得每个单元吸收水分的重量G_i=Csat*V*w,（i=1,2,···,n）式中Csat为常数，材料不同Csat的值也不同；

（7）对n个单元采用加法求取微电子器件吸收水分的重量G，（i=1,2,···,n）。

2.根据权利要求1所述的一种基于ANSYS计算微电子器件增加水分含量的方法，其特征在于：所述步骤（7）是在matlab上采用程序实现。