[发明专利]一种晶圆针测机

说明书

技术领域

本发明涉及晶圆测试设备领域，尤其涉及一种晶圆针测机。

背景技术

晶圆测试对环境要求非常高,针测机对晶圆做针测需要在无尘室环境下进行。无尘室亦称为洁净室，它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

芯片设计公司或晶圆代工厂在芯片试生产阶段需要对制造出的晶圆做晶圆测试，测试除了需要购买测试设备还需要建造无尘室。目前能满足芯片设计研发公司或机构做晶圆测试所使用的100级无尘室其造价达最低达百万人名币以上。对于成立初期的设计公司难以负担。

发明内容

针对现有技术中缺陷与不足的问题，本发明提出了一种晶圆针测机，可以在非洁净室环境下进行晶圆测试，解决了针测机对晶圆做针测必须在无尘室内进行的问题，为企业大大节省了生产成本。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶圆针测机，包括针测机主体、晶圆传输装置、空气净化器一、空气净化器二和温湿度控制器，所述晶圆传输装置与针测机主体相连，空气净化器一固定在晶圆传输装置上，针测机主体上安装有空气净化器二和温湿度控制器。

进一步的，所述针测机主体设有晶圆针测工作台，其工作台外设有可密封护罩。

进一步的，所述晶圆传输装置设有晶圆输送通道。

进一步的，所述晶圆输送通道与晶圆针测工作台相连，其通道端口可封闭。

本发明具有如下有益效果：本发明通过空气净化器将针测机主体及晶圆传输装置的内部空气净化，再配合温湿度控制器控制晶圆针测工作台内环境达到无尘室标准，使得所述晶圆针测机在非洁净室环境下工作也能满足晶圆测试的需求，为企业生产节约了建造无尘室的大量成本。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

如图所示，一种晶圆针测机，包括针测机主体1、晶圆传输装置2、空气净化器一3、空气净化器二4和温湿度控制器5，所述晶圆传输装置2与针测机主体1相连，空气净化器一3固定在晶圆传输装置2上，针测机主体1上安装有空气净化器二4和温湿度控制器5。

所述针测机主体1设有晶圆针测工作台，其工作台外设有可密封护罩。

所述晶圆传输装置2设有晶圆输送通道。

所述晶圆输送通道与晶圆针测工作台相连，其通道端口可封闭。

具体的，晶圆针测机工作前，先设定好参数，启动空气净化器一3、空气净化器二4和温湿度控制器5，且封闭针测机工作台和晶圆输送通道，当其内部空气落尘数、温湿度控制到Class 100标准（Class 100标准为每立方英尺内大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗）时，再将晶圆载入到晶圆传输装置2中，由其输送到针测机主体1的晶圆针测工作台上完成针测测试。