[发明专利]一种玻璃微流道的制备系统

说明书

本发明公开了一种玻璃微流道的制备系统，包括第一移动平台和切割头透镜组，第一移动平台，用于依据计算机发出的控制指令在x/y平面上移动；还包括红外激光器以及固定在第一移动平台上的基板，其中：红外激光器，用于发射红外激光；切割头透镜组，用于接收红外激光并使红外激光聚焦在基板的上表面上，以便对放置在基板的上表面的玻璃基片进行微流道背刻得到玻璃微流道基片。本发明实现了利用红外激光制备玻璃微流道，降低了整体成本。

技术领域

本发明涉及微流道制备技术领域，特别是涉及一种玻璃微流道的制备系统。

背景技术

微流道是微反应器和集成微流道系统的重要组成部分，其中，微反应器也就是微通道反应器，它利用精密加工技术制造的特征尺寸在10到300微米(或者1000微米)之间的微型反应器，微反应器的“微”表示工艺流体的通道在微米级别，而不是指微反应设备的外形尺寸小或产品的产量小。微反应器中可以包含有成百万上千万的微型通道(即微流道)；集成微流道系统被广泛的应用于化学、光学、生物医疗以及军事等领域，在使用过程中能实现很高的产量。玻璃和硅材料是制备微流道的高性能材料，主要是因其具有化学性能稳定、可靠性高、对高温高压的抗性好以及利于电渗流驱动等优点。

目前，常用的微流道加工方式是采用激光加工微流道，该方式具有工艺简单、环保高效的优点，在利用激光对玻璃进行微流道加工时，由于玻璃材料的透过性好，能量较低的红外波段的激光很难在玻璃表面聚焦，因此现有技术中需要采用能量较高的蓝紫波段或者超快激光对玻璃进行微流道加工，但是，由于蓝紫波段或者超快激光的能量较高，则相应的玻璃微流道的制备系统中所采用的激光器和各个光学元件的成本较高，使得现有技术中的玻璃微流道的制备系统的整体成本较高。

因此，如何提供一种解决上述技术问题的玻璃微流道的制备系统成为本领域的技术人员需要解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种玻璃微流道的制备系统，在使用过程中实现了利用红外激光制备玻璃微流道，降低了整体成本。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种玻璃微流道的制备系统，包括第一移动平台和切割头透镜组，所述第一移动平台，用于依据计算机发出的控制指令在x/y平面上移动；还包括红外激光器以及固定在第一移动平台上的基板，其中：

红外激光器，用于发射红外激光；

切割头透镜组，用于接收所述红外激光并使所述红外激光聚焦在所述基板的上表面上，以便对放置在所述基板的上表面的玻璃基片进行微流道背刻得到玻璃微流道基片。

可选的，所述装置还包括激光清洗装置，用于接收所述红外激光并利用所述红外激光对所述玻璃微流道基片进行激光清洗，以祛除微流道中的残渣。

可选的，所述系统还包括光路切换器件，用于改变所述红外激光的光路方向，使所述红外激光射入至所述激光清洗装置的接收端。

可选的，所述激光清洗装置包括：

固定在所述第二移动平台上的激光清洗夹具，用于放置所述玻璃微流道基片；

x/y扫描振镜，用于接收并发送所述红外激光，并确定所述红外激光的扫描范围；

一端与所述x/y扫描振镜的输出端连接的聚焦镜，用于对所述红外激光的焦点进行调节，使所述焦点聚焦在所述玻璃微流道基片的下表面上。

可选的，所述系统还包括激光光束整形装置，用于对所述红外激光进行整形处理，并将整形处理后的红外激光发送至所述x/y扫描振镜。

可选的，如上述所述的玻璃微流道的制备系统，所述基板为石墨基板。

可选的，所述石墨基板为表面进行抛光处理后的石墨基板。

可选的，所述切割头透镜组的侧壁上设有横穿所述侧壁的进气口。