[发明专利]一种单晶炉真空管道清理方法在审
| 申请号： | 201710197096.9 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106914460A | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 周杰;沈浩锋;周林伟;朱伟忠;苏静洪 | 申请（专利权）人： | 天通吉成机器技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;F16L55/24;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空 管道 清理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉真空管道清理方法，其特征在于，在长晶加热时，向真空管道内通入含氧气体，所述含氧气体与所述真空管道内壁上附着的SiOx进行燃烧反应，得到粉末状物质，所述粉末状物质被抽吸排出所述真空管道外。
2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道清理方法，其特征在于，所述粉末状物质通过真空泵抽吸排出所述真空管道外。
3.根据权利要求1或2所述的单晶炉真空管道清理方法，其特征在于，在向所述真空管道内通入含氧气体时，根据SiOx的含量调节通入所述含氧气体的流量。
4.根据权利要求3所述的单晶炉真空管道清理方法，其特征在于，在向所述真空管道内通入含氧气体时，设定最大含氧气体通入流量限值。
5.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道清理方法，其特征在于，所述含氧气体为空气、氧气或含氧混合气体。
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