[发明专利]玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底的制造装置

权利要求书

1.一种玻璃衬底的制造方法，其特征在于：

将熔融玻璃自玻璃供给管供给至具有供给槽的成形体，使用所述成形体通过溢流下拉法成形平板玻璃，且

所述供给槽具有供给至所述供给槽的熔融玻璃自所述供给槽溢出的量在所述供给槽的延伸方向及与所述延伸方向正交的宽度方向上达到均一的底面形状，

所述玻璃衬底的制造方法具有：

成形步骤，将自所述玻璃供给管供给至所述供给槽的熔融玻璃的最大温度差为30℃以下且熔融玻璃的粘度为22000dPa·s以上38000dPa·s以下的熔融玻璃供给至所述供给槽，且在所述成形体的下端使所述熔融玻璃汇流，成形平板玻璃；及

端部冷却步骤，以抑制所述成形步骤中成形所得的所述平板玻璃中局部产生的板厚偏差的方式，将平板玻璃的宽度方向的两端部冷却。

2.根据权利要求1所述的玻璃衬底的制造方法，其特征在于：

所述端部冷却步骤是将所述成形体在所述平板玻璃的宽度方向上未变形时施加的且所述平板玻璃的剖面形状成为目标形状的张力设为基准张力，在所述成形体未变形时，以通过将所述平板玻璃的宽度方向的两端部冷却而达到所述基准张力的方式进行控制，且在所述成形体产生变形时，对于所述平板玻璃施加根据所述成形体的变形而与所述基准张力相加的张力。

3.根据权利要求2所述的玻璃衬底的制造方法，其中

所述成形体的变形是随着使用所述成形体而经时变化的蠕变变形，且对所述基准张力加上与所述蠕变变形造成的所述成形体的特定位置的位移量相应的张力。

4.根据权利要求2或3所述的玻璃衬底的制造方法，其中

随着所述变形变大而增强所述两端部的冷却。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃衬底的制造方法，其中

所述板厚偏差为10μm以下。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃衬底的制造方法，其中

在所述成形步骤中，以在所述成形体向下流动的熔融玻璃的温度比所述熔融玻璃的液相温度增高10℃～150℃的方式，加热所述熔融玻璃。

7.一种玻璃衬底的制造装置，其特征在于：

将熔融玻璃自玻璃供给管供给至具有供给槽的成形体，使用所述成形体通过溢流下拉法成形平板玻璃，且

所述成形体具有接收最大温度差为30℃以下且粘度为22000dPa·s以上38000dPa·s以下的熔融玻璃供给的供给槽、及用以在所述成形体的下端使所述熔融玻璃汇流而成形平板玻璃的壁面，

所述供给槽具有供给至所述供给槽的熔融玻璃自所述供给槽溢出的量在所述供给槽的延伸方向及与所述延伸方向正交的宽度方向上达到均一的底面形状，

所述玻璃衬底的制造装置更具备以抑制利用所述成形体成形所得的所述平板玻璃中局部产生的板厚偏差的方式冷却平板玻璃的宽度方向的两端部的端部冷却装置。