[发明专利]刀片涂层夹具及涂层机在审
申请号: | 201710199222.4 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN108660440A | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C14/50 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 刀片涂层 夹具 刀片 涂层作业 涂层机 基底 固定结构 夹装槽 刻度杆 夹具安装 刻度位置 相对滑动 平面状 设置孔 靶材 地装 预设 刀具 | ||
1.一种刀片涂层夹具,用以固定待涂层的刀片,其特征在于,所述刀片涂层夹具包括刻度杆以及基底,所述基底具有一装配面以及设置在所述装配面上的若干夹持槽,所述夹装槽匹配所述待涂层的刀片设置以夹持所述待涂层的刀片,所述基底装设在所述刻度杆上,并可沿所述刻度杆的长度延伸方向滑动,以调节固定在所述基底上的所述待涂层的刀片与一涂层机中的涂层靶材之间的距离。
2.如权利要求1所述的刀片涂层夹具,其特征在于,所述基底还包括靠近所述夹装槽的边缘设置至少两个固定件,每一所述夹装槽的相对两个侧边分别设置一个固定件,所述固定件抵持位于所述夹装槽中的所述待涂层的刀片。
3.如权利要求2所述的刀片涂层夹具,其特征在于,所述基底还包括靠近所述夹装槽相对两个侧边设置的螺孔以及套设在所述固定件上的垫圈,所述固定件穿过所述垫圈并通过螺纹连接的方式安装在所述螺孔内,所述垫圈抵持所述夹装槽中的待涂层的刀片的边缘位置。
4.如权利要求1所述的刀片涂层夹具,其特征在于,所述基底还包括与所述装配面相交的相对两个安装面,所述夹装槽靠近两个所述安装面设置,并且贯通所述安装面从而在所述安装面上形成一开口,所述待涂层的刀片从所述开口安装至所述夹装槽内。
5.如权利要求4所述的刀片涂层夹具,其特征在于,所述夹装槽分别依次交替地靠近相对两个安装面设置,且相邻的两个夹装槽的开口方向相反。
6.如权利要求1所述的刀片涂层夹具,其特征在于,所述基底还包括贯穿所述装配面设置的安装孔、与所述安装孔相连通的锁持孔以及安装在所述锁持孔中的锁持件,所述基底通过所述安装孔安装在所述刻度杆上,所述锁持件抵持位于所述安装孔内的所述刻度杆以实现所述基底与刻度杆之间的固定。
7.如权利要求1所述的刀片涂层夹具,其特征在于,所述基底以所述刻度杆为轴旋转,以调节所述待涂层的刀片相对于所述涂层靶材的水平位置。
8.如权利要求1至7任一项所述的刀片涂层夹具,其特征在于,所述刻度杆的一端开设有一装配孔,所述装配孔沿所述刻度杆的长度延伸方向设置,用以将所述刻度杆固定在所述涂层机中。
9.如权利要求8所述的刀片涂层夹具,其特征在于,所述刻度杆上的刻度以远离所述装配孔的一端作为刻度的零点,并在沿着靠近所述装配孔的方向其刻度值逐渐加大,所述刻度杆通过其上的刻度值来定位所述基底,并确定所述基底上的刀片与所述涂层靶材之间的距离。
10.一种涂层机,用于对待涂层的刀片进行涂层加工,所述涂层机包括涂层靶材,其特征在于,所述涂层机还包括如权利要求1至9任一项所述的刀片涂层夹具,所述刀片涂层夹具用以夹持待涂层的刀片。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳先进技术研究院,未经深圳先进技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710199222.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种新型ALD热井加热器
- 下一篇:一种氮化硼薄膜的转移方法
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的