[发明专利]一种纳米颗粒的制备方法及装置

权利要求书

1.一种纳米颗粒的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

第1步，在冷凝介质中，对待加工工件的表面进行高温熔化和/或气化，并使熔化和/或气化的材料迅速冷凝，形成蚀除产物；

第2步，将蚀除产物送入高能球磨装置中进行湿法球磨，得到纳米粒子。

2.根据权利要求1所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的第1步中的具体步骤是：将待加工材料作为工件电极，再将工件电极和工具电极分别接在脉冲电源的两极，在工作液中使工具电极和工件电极间形成连续的脉冲性放电，利用火花放电产生的高温去除材料，得到蚀除产物。

3.根据权利要求1或2所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的第1步中，待加工材料是能进行放电加工的任何材料。

4.根据权利要求3所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，能进行放电加工的任何材料是导电性能良好的金属材料。

5.根据权利要求4所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，导电性能良好的金属材料是铜或者银。

6.根据权利要求3所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，能进行放电加工的任何材料是具有导电性能的半导体材料。

7.根据权利要求6所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，具有导电性能的半导体材料是硅或者锗。

8.根据权利要求3所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，能进行放电加工的任何材料是绝缘材料。

9.根据权利要求8所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，绝缘材料是陶瓷或者宝石。

10.根据权利要求2所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的冷凝介质是指有冷却气或冷却液存在的条件。

11.根据权利要求10所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的第1步中，需要将冷却气或冷却液高速流过工具电极和工件电极之间的加工间隙，将蚀除产物从放电通道处带出。

12.根据权利要求11所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，冷却液是绝缘液体。

13.根据权利要求12所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，绝缘液体是去离子水或者航空煤油。

14.根据权利要求2所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，脉冲电源产生的电脉冲的脉宽为0.1μs～500μs。

15.根据权利要求11所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，高速冲液压强为1MPa～20MPa。

16.根据权利要求11所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的第1步中，冷凝介质中的蚀除产物经过过滤后，再配制为浆料后送入第2步处理。

17.根据权利要求11所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的第1步中，直接将含有蚀除产物的冷却液送入第2步处理。

18.根据权利要求1所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，磨球的尺寸粒径为0.03～1mm。

19.根据权利要求1所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，磨球的材质是氧化锆、氧化铝或者钢。

20.根据权利要求1所述的纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的第2步中，助磨剂是去离子水、乙醇、乙二醇、聚乙二醇、乙酸丁酯、丙醇、异丙醇或者丁醇。