[发明专利]玻璃基板研磨系统

权利要求书

1.一种玻璃基板研磨系统，其特征在于，包括：

研磨装置，包括研磨罩(1)，设置于所述研磨罩(1)内的研磨轮(2)以及用于驱动所述研磨轮(2)旋转的第一驱动件(3)，所述玻璃基板(4)的边缘进入沿所述研磨轮(2)周向延伸的研磨槽内，

冷却装置，设置于所述研磨罩(1)内，用于向所述研磨轮(2)和所述玻璃基板(4)接触的研磨位置喷冷却水，

抽水装置，连接至所述研磨罩(1)，用于抽出所述研磨罩(1)内的所述冷却水。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，所述抽水装置包括抽吸源和连通在该抽吸源下方的蓄水区，所述研磨罩(1)内部通过第一管路(6)连通至所述抽吸源。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，所述抽吸源包括风机(5)，用于驱动所述风机(5)的第二驱动件(7)以及连接于所述风机(5)的进气口和所述第一管路(6)之间的分离装置(13)，所述分离装置(13)用于将抽吸的冷却水和空气分离并将所述冷却水输送至所述蓄水区。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，所述分离装置(13)包括进口、用于排出冷却水的出液口以及用于排出空气的出气口，所述第一管路(6)连接至所述分离装置(13)的所述进口，所述分离装置(13)的所述出气口连接至所述风机(5)的进气口，所述出液口连接至所述蓄水区。

5.根据权利要求3所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，所述蓄水区包括用于收集所述冷却水的水箱(8)，所述水箱(8)通过第二管路(9)连接至所述分离装置(13)的所述出液口。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，所述研磨系统还包括用于获取所述玻璃基板(4)和所述研磨轮(2)相接触研磨位置的位置信息的检测装置以及与所述检测装置电连接的显示装置(11)。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，所述检测装置包括接近开关(10)和用于驱动所述接近开关(10)靠近或远离所述玻璃基板(4)边缘的第三驱动件(12)。

8.根据权利要求6所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，所述检测装置为分别设置在所述玻璃基板(4)两侧边缘的两个。

9.根据权利要求6所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，所述检测装置用于检测所述玻璃基板(4)沿一侧边缘间隔设置的多个研磨位置。

10.根据权利要求7所述的玻璃基板研磨系统，其特征在于，还包括控制终端，所述控制终端内置所述显示装置(11)和控制器，所述控制器与所述第三驱动件(12)电连接。