[发明专利]干湿一体机及生产线

说明书

本发明提供了一种干湿一体机，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；本发明的整套设备为实现硅片的“干法制绒”工艺，集成了硅片自动插片、前清洗、硅片自动化转换到干法制绒设备上、干法制绒、硅片自动化叠片等工艺和技术。该整套设备不需要人工干预，全部使用自动化设备。在此基础上，本发明还提供了一种采用该干湿一体机的生产线。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造领域，尤其是涉及一种干湿一体机及生产线。

背景技术

在太阳能电池中，为降低硅片对太阳光的反射，尽可能的将光能转换为电能，提高发电效率。硅片在制成电池片之前都需要对硅片表面进行处理，以降低光的反射率，在光伏行业中该工艺的名称叫做“制绒工艺”。由于制绒工艺的好坏直接影响太阳能电池的转换效率，故制绒工艺属于太阳能硅片生产制造过程中的关键工艺。近些年来，随着金刚线切割硅片的成本的大幅降低，随之而来的问题就是金刚线切割多晶硅片的表面制绒工艺用传统的酸制绒工艺不相匹配，影响了技术的推广应用。业内急需一种新工艺来解决该问题。“干法黑硅”技术应运而生，经过该技术处理的电池片可以将转换效率提高0.5％以上，具有十分重要的经济价值，而且适用于金刚切的硅片，达到了降本增效的双重效果。

但是在干法制绒以前，硅片必须进行前清洗，这个清洗步骤的目的是将硅片表面的切割损伤层去除掉，同时产生无污染的均匀表面，随之立即进行干法制绒将能获得整体均匀的绒面和成色。这步前清洗需要在强酸或强碱的溶液中完成。目前使用的方法是前清洗和干法制绒在两台独立的设备中完成，设备之间硅片的转换用人工完成。这样不仅增加了成本，而且中间经过了人工流转环节，增加了工艺不确定性因素。

发明内容

本发明的目的在于提供一种干湿一体机及生产线，很大程度上解决了上述问题。

本发明提供的干湿一体机，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；

所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；

所述插片上料机用于将一整叠的硅片插入到空花篮中并送入所述自动化前清洗机；

所述自动化前清洗机用于对硅片进行去损伤清洗；

所述自动化上下料机构将经过清洗的硅片从花篮中取出放到RIE干法制绒机上，并将制绒后的硅片从RIE干法制绒机上取下；

所述RIE干法制绒机用于在晶体硅电池表面蚀刻形成减反射层绒面；

所述自动叠片机将制绒过的硅片取下，叠成一定数量；

所述花篮自动回转机构将取走硅片的空花篮输送到插片上料机的出料口处。

进一步地，所述插片上料机包括硅片存放装置、硅片输送装置、花篮提升机构、取料机械手和硅片提升装置；

所述硅片存放装置、硅片输送装置和花篮提升机构依次连接；

所述取料机械手安装在所述硅片存放装置上方；

所述硅片提升装置安装在所述硅片存放装置下方并与所述硅片存放装置连接，从而改变硅片存放装置的高度。

进一步地，所述自动化前清洗机包括依次连接的桁架机器人、槽体机构、干燥机构和多关节机器人；

所述桁架机器人将盛满硅片的花篮抓取后放在所述自动化前清洗机的上料工位上；