[发明专利]容器收纳设备

说明书

气体供给装置（3）具备配管（19）、质量流量控制器（20）、多个连接部（18），前述多个连接部（18）与被收纳于供给收纳部（1a）的容器（W）连接，前述配管（19）将气体向多个连接部（18）分岔地供给，前述质量流量控制器（20）控制在配管（19）内流通的气体的流量，配管（19）具备第1配管（23）、第2配管（24）、分岔配管（26），前述第1配管（23）被相对于供给收纳部（1a）的每一个设置，前述第2配管（24）被比第1配管（23）靠上游侧地设置，前述分岔配管（26）使被从第2配管（24）供给的气体向第1配管（23）分岔，质量流量控制器（20）被设置于第2配管（24），且被设置于设置区域（E2）。

技术领域

本发明涉及容器收纳设备，前述容器收纳设备具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域上设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的前述多个收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量。

背景技术

该容器收纳设备的以往例被在日本特开2013－133193号公报（专利文献1）中公开。在专利文献1的容器收纳设备中，由属于一个区的多个供给收纳部构成供给收纳部组。气体供给装置相对于构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部的每一个具备两个以上的第1配管。并且，专利文献1的气体供给装置使被从第2配管供给的气体借助分岔配管向两个以上的第1配管分岔，借助两个以上的第1配管，对构成供给收纳部组的两个以上的供给收纳部的每一个供供气体。

并且，在专利文献1的容器收纳设备中，气体供给装置的质量流量控制器被设置于两个以上的第1配管的每一个的流路上。此外，质量流量控制器被设置于收纳区域，在前述收纳区域设置有收纳部。具体地，质量流量控制器在容器被收纳于收纳部的情况下，被设置于与该容器的横侧方相邻的位置。

在上述以往的容器收纳设备中，质量流量控制器被设置于设置有收纳部的收纳区域，所以在质量流量控制器的温度上升的情况下，有该温度上升的影响对被收纳于收纳部的容器，特别是，对被容纳于容器的容纳物施加影响的可能性。

此外，第1配管被相对于多个供给收纳部的每一个设置，在多个第1配管的每一个上设置有质量流量控制器。因此，质量流量控制器的设置数量较多，气体供给装置的制造成本变高。

发明内容

因此，需要一种收纳区域的容器难以受到质量流量控制器的温度上升的影响、且能够抑制气体供给装置的制造成本的容器收纳设备。

本发明的容器收纳设备的技术方案为，一种容器收纳设备，具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域上设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的多个前述收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，其特征在于，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部被相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量，前述配管具备第2配管、分岔配管、两个以上的第1配管，前述两个以上的第1配管相对于由前述多个供给收纳部的一部分或全部构成的供给收纳部组，被相对于构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部的每一个设置，前述第2配管形成在气体的流通方向上比前述两个以上的第1配管靠上游侧设置的单一的流路，前述分岔配管使被从前述第2配管供给的气体向前述两个以上的第1配管分岔，前述质量流量控制器被设置于前述第2配管的前述单一的流路上，设置于设置区域，前述设置区域被设定于前述收纳区域的外部。