[发明专利]一种用于FPC电镀的等离子装置

说明书

本发明公开了一种用于FPC电镀的等离子装置，通过电晕放电、辉光放电或介质阻挡放电，从而产生等离子，使基材FP的表面粗化，进而可以提高无电解电镀层和基材的粘合性。本发明提供了一种用于FPC电镀的等离子装置，包括：至少一组等离子反应器(1)和支撑器(2)；等离子反应器(1)和支撑器(2)相对设置；等离子反应器(1)上与支撑器(2)相邻一侧设有用于喷出等离子气体的气孔；等离子反应器(1)另一侧设有等离子电极(11)；支撑器(2)用于支撑基材。

技术领域

本发明涉及机械技术领域，具体涉及一种用于FPC电镀的等离子装置。

背景技术

柔性电路板(Flexible Printed Circuit简称FPC)是以聚酰亚胺或聚酯薄膜为基材制成的一种具有高度可靠性，绝佳的可挠性印刷电路板，具有配线密度高、重量轻、厚度薄、弯折性好的特点。

目前，FPC电镀前需要去除导体表面的污染和氧化层，电镀中易出现电镀薄厚不均、凹凸不平处易堆积溶液等现象。

发明内容

本发明提供了一种用于FPC电镀的等离子装置，通过电晕放电、辉光放电或介质阻挡放电，从而产生等离子，使基材FP的表面粗化，进而可以提高无电解电镀层和基材的粘合性。

本发明提供了一种用于FPC电镀的等离子装置，具体包括：

至少一组等离子反应器1和支撑器2；

等离子反应器1和支撑器2相对设置；

等离子反应器1上与支撑器2相邻一侧设有用于喷出等离子气体的气孔；

等离子反应器1另一侧设有等离子电极11；

支撑器2用于支撑基材。

可选的，

支撑器2和等离子反应器1均为长方体结构，且等离子反应器1与支撑器2相邻的面为宽度相同。

可选的，

支撑器2为圆柱状结构；

等离子反应器1均为长方体结构；

等离子反应器1的宽度与支撑器2的底面直径相同。

可选的，

支撑器2为圆柱状结构；

等离子反应器1上与支撑器2相邻一侧为弧形结构；

等离子反应器1的宽度与支撑器2的底面直径相同，且弧形的弧度与支撑器2的侧面弧度一致。

可选的，

等离子反应器1上的弧形结构与支撑器2的弧形侧面等距距离为0.5mm-5mm。

可选的，

等离子反应器1上的等离子电极11与外框间沟槽为1mm-2mm。

可选的，

等离子电极11的交流高压电电压达到正负5～10KV，频率为10KHZ。

可选的，

等离子反应器1上的气孔均匀分布。

可选的，

等离子气体包括：氩气、氧气和/或氮气。

可选的，

等离子气体及其流量关系为

氩气流量1～15L/min、氧气流量0.1～1.5L/min；

或者，