[发明专利]晶圆夹具及夹持晶圆的方法

权利要求书

1.一种晶圆夹具，包含：

一平台，具有一顶面；

一停止器，设于该平台的前端；

一推杆，设于该平台的后端；

至少一致动器，枢接于该推杆；及

一感测器，设于该平台的前端，用以量测该感测器与其上晶圆之间的距离。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该平台的顶面为平坦。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该停止器的顶面高于该平台的顶面，因此当该晶圆支撑于该平台上时，该停止器的顶面相同或高于该晶圆的顶面。

4.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该推杆的顶面高于该平台的顶面，因此当该晶圆支撑于该平台上时，该推杆的顶面相同或高于该晶圆的顶面。

5.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该致动器将该推杆往前推动，使得该晶圆稳固地夹持于该停止器与该推杆之间。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该至少一致动器包含两致动器，平行枢接于该推杆。

7.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该至少一致动器包含一致动器，其与至少一辅助杆平行枢接于该推杆。

8.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该致动器包含气压缸。

9.根据权利要求8所述的晶圆夹具，当该气压缸未致动时，该气压缸的前端被拉回至原始位置。

10.根据权利要求1所述的晶圆夹具，还包含一面板，用以支撑该致动器。

11.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该感测器包含光纤感测器。

12.根据权利要求11所述的晶圆夹具，其中该光纤感测器包含反射型光纤感测器。

13.一种夹持晶圆的方法，包含:

提供一晶圆夹具；

移动该晶圆夹具至一具有晶圆的槽；

一感测器检测到该感测器之上晶圆的存在；

继续向前移动该晶圆夹具，直到该感测器检测到晶圆的不存在；及

将该晶圆夹具往上移动，且致动至少一致动器而将一推杆往前推，使得晶圆被稳固地夹持于一停止器与该推杆之间。

14.根据权利要求13所述夹持晶圆的方法，其中该晶圆夹具包含：

一平台；

该停止器，设于该平台的前端；

该推杆，设于该平台的后端；

该至少一致动器，枢接于该推杆；及

该感测器，设于该平台的前端。

15.根据权利要求13所述夹持晶圆的方法，其中该致动器包含气压缸。

16.根据权利要求15所述夹持晶圆的方法，当该气压缸未致动时，该气压缸的前端被拉回至原始位置。

17.根据权利要求13所述夹持晶圆的方法，其中该感测器包含反射型光纤感测器。

18.根据权利要求17所述夹持晶圆的方法，当该反射型光纤感测器接收到反射自晶圆的光信号，则检测到晶圆的存在。

19.根据权利要求17所述夹持晶圆的方法，当该反射型光纤感测器接收不到反射自晶圆的光信号，则检测到晶圆的不存在。