[发明专利]含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备及方法

权利要求书

1.一种含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备，其特征在于：包括有

一蚀刻机，蚀刻机内安装有用于调控三氯化铁蚀刻液的药水参数的监控装置；

一废液收集槽，蚀刻机内的废液通过第一管道流入废液收集槽中进行收集；

一废液储罐，由一第一污水泵通过第二管道将废液收集槽内的废液抽入该废液储罐中进行储存；

一离子膜电解槽，由一第二污水泵通过第三管道将废液储罐内的废液抽入该离子膜电解槽进行电解，离子膜电解槽包括有阳极区和阴极区；

一循环槽，循环槽包括有阳极循环槽和阴极循环槽，离子膜电解槽电解后的阳极液和阴极液分别经第四管道和第五管道流入阳极循环槽内和阴极循环槽内，阳极循环槽内的阳极液经一第一高压泵通过第六管道抽入上述蚀刻机内，阴极循环槽内的阴极液经调温后由一第二高压泵通过第七管道抽入离子膜电解槽的阴极区构成一个循环。

2.根据权利要求1所述的含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备，其特征在于：所述废液收集槽内安装有液位感应器，达到液位高度时，由上述第一污水泵自动抽取废液至废液储罐中。

3.根据权利要求1所述的含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备，其特征在于：所述阳极区安装有涂层钛阳极板，以电催化涂层电极为阳极。

4.根据权利要求1所述的含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备，其特征在于：所述阴极循环槽内安装有用于调控阴极液温度的钛冷却管。

5.根据权利要求1所述的含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备，其特征在于：所述离子膜电解槽壁上开设有废气孔，废气经管道排放至废气吸收塔酸碱中和喷淋处理。

6.一种含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用方法，其特征在于，采用如权利要求1至5任一项所述的含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备，包括以下步骤：

（1）收集：对蚀刻生产线排放的含铜、镍、铬的三氯化铁废液进行回收至废液收集槽和废液储罐中；

（2）电解：将废液储罐中的废液抽入该离子膜电解槽进行电解，得到铜、镍、铬板状合金；

（3）参数调整：电解余液流入循环槽中后进行温度调控和PH值调整；

（4）循环使用：电解余液经参数调整达标后，在抽回离子膜电解槽和蚀刻机中进行循环使用。