[发明专利]影像感测器

权利要求书

1.一种影像感测器，包含：

一红外光接收部，用以接收一红外光；以及

一可见光接收部，用以接收一可见光，其中该可见光接收部包含：

一红外光截止滤光栅格，该红外光截止滤光栅格用以纯化该可见光；

一可见光光二极管；

一红外光截止滤光层，设置于该可见光光二极管上；及

一彩色滤光层，填充于该红外光截止滤光栅格内；

其中该红外光截止滤光栅格设置于该红外光截止滤光层上，该可见光穿过该彩色滤光层、该红外光截止滤光栅格以及该红外光截止滤光层而被该可见光光二极管所接收。

2.如权利要求1所述的影像感测器，其中该红外光接收部包含：

一红外光光二极管；

一第一滤光层，设置于该红外光光二极管上；以及

一第二滤光层，设置于该第一滤光层上；

其中该红外光穿过该第二滤光层与该第一滤光层而被该红外光光二极管所接收。

3.如权利要求2所述的影像感测器，其中该第一滤光层与该第二滤光层的其中之一为一红外光穿透滤光层，该第一滤光层与该第二滤光层的其中另一为一白色滤光层或该红外光穿透滤光层。

4.如权利要求2所述的影像感测器，还包含一晶圆层，位于该红外光光二极管与该可见光光二极管上，其中该晶圆层的一第一部分位于该可见光接收部内，且该晶圆层的一第二部分位于该红外光接收部内。

5.如权利要求4所述的影像感测器，其中该晶圆层的该第一部分位于该红外光截止滤光层与该可见光光二极管之间。

6.如权利要求4所述的影像感测器，其中该晶圆层的该第二部分位于该第一滤光层与该红外光光二极管之间。

7.如权利要求1所述的影像感测器，其中该彩色滤光层包含一红色滤光单元、一绿色滤光单元以及一蓝色滤光单元。

8.如权利要求7所述的影像感测器，其中该红色滤光单元、该绿色滤光单元以及该蓝色滤光单元各别填充于该红外光截止滤光栅格内。

9.如权利要求1所述的影像感测器，还包含一微透镜层，用以聚集该可见光与该红外光。

10.如权利要求9所述的影像感测器，其中该微透镜层位于该影像感测器的最上层。

11.如权利要求9所述的影像感测器，其中该微透镜层位于该可见光接收部与该红外光接收部内。

12.如权利要求9所述的影像感测器，还包含一间隔层，用以提供一平坦表面，其中该微透镜层设置于该平坦表面上。

13.如权利要求12所述的影像感测器，其中该间隔层位于该可见光接收部与该红外光接收部内。

14.一种形成影像感测器的方法，包含：

提供一第一元件，该第一元件包含一可见光接收部与一红外光接收部，其中该第一元件包含：

一晶圆层，位于该可见光接收部与该红外光接收部内；以及

一第一滤光层，位于该晶圆层上，其中该第一滤光层位于该红外光接收部内；

涂布一第一红外光截止滤光层于该第一元件上，其中该第一红外光截止滤光层位于该可见光接收部与该红外光接收部内；

图案化多个光阻于位于该可见光接收部内的该第一红外光截止滤光层上，以形成一第二元件；

蚀刻该第二元件直到该第一滤光层暴露，以形成位于该可见光接收部内的一红外光截止滤光层与一红外光截止滤光栅格，其中该红外光截止滤光栅格是位于该红外光截止滤光层上；

填充一彩色滤光层于该红外光截止滤光栅格内，且形成一第二滤光层于该第一滤光层上；以及

依序设置一间隔层与一微透镜层于该彩色滤光层与该第二滤光层上，其中该间隔层与该微透镜层位于该可见光接收部与该红外光接收部内。