[发明专利]一种新型批量插卸硅片装置在审
申请号: | 201710217844.5 | 申请日: | 2017-04-05 |
公开(公告)号: | CN106876314A | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 刘丽琴 | 申请(专利权)人: | 刘丽琴 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人: | 李正方 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 批量 硅片 装置 | ||
技术领域
本发明涉及硅片吸笔领域,具体是一种新型批量插卸硅片装置。
背景技术
在电池安装领域,大部分工序都可由机器自动完成,但由于碎片率的问题 仍有一些工序要依赖人工进行,例如在镀减反射膜工序需要从石墨舟中取出硅片,此时因 为要避免操作人员手上的盐分或油污污染硅片以及使用机器碎片率高等原因所以需要使 用吸笔,但是传统吸笔每次只能吸取一片硅片,工作效率低,因此,提供一种与实际问题相 结合的组合型吸笔,能够实现一次吸取多片硅片,可以有效提高工作效率,是非常有实际意 义的。
一种新型批量插卸硅片装置的出现大大方便了硅片的取放,但是目前阶段硅片的取放存在诸多的不足之处,例如,工作效率低,插、卸硅片不方便,容易造成硅片碎片。
发明内容
本发明的目的在于提供一种新型批量插卸硅片装置,以解决现有技术中的作效率低,插、卸硅片不方便,容易造成硅片碎片的问题。
为了克服背景技术中存在的缺陷,本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种新型批量插卸硅片装置,包括手握持面板,所述手握持面板的顶部设置有控制孔,所述手握持面板的左右两侧安装有横向定位杆,所述手握持面板的前后两侧安装有纵向定位杆,所述手握持面板的前侧面上对应控制孔设置有进气口,所述手握持面板的下方固定在镂空盒上,所述镂空盒的底部固定在底板上,所述镂空盒内设有第二公共气盒和第一公共气盒,所述第二公共气盒和第一公共气盒放置在底板上,所述第二公共气盒和第一公共气盒彼此之间通过连接软管连接,所述第二公共气盒和第一公共气盒上分别设有多个连接板,所述第二公共气盒和第一公共气盒上的连接板相互交叉设置,所述第二公共气盒的外侧面的中间位置处安装有手推移动错位块,且手推移动错位块从镂空盒内穿过,所述第一公共气盒上设置有对接口,所述对接口与进气口相连通,所述连接板的底部至少安装有一个与吸笔头气道盒相连接的连接气管,相邻的连接气管之间设有竖直定位条,所述竖直定位条的一端固定在连接板上,所述吸笔头气道盒上设有多个吸气孔,所述吸笔头气道盒上设有吸笔头海绵贴,所述吸笔头海绵贴上设有吸笔头气道。
优选的所述纵向定位杆和横向定位杆通过螺钉固定在手握持面板上。
优选的新型批量插卸硅片装置左右两侧的吸笔头气道盒上设有水平定位条。
优选的所述吸笔头气道呈矩形。
优选的所述对接口与手握持面板的底部的出气口无缝对接安装,且均与进气口相护贯通。
本发明所涉及的一种新型批量插卸硅片装置的有益效果是:本发明是通过底板、镂空盒、第一公共气盒、第二公共气盒和手握持面板组合安装,通过此种安装方式,为了便于两组错位,能直接从花篮中取出,装置的底部安装有多个吸笔头气道盒,且多个吸笔头气道盒分别与第一公共气盒和第二公共气盒连接,通过其可以对硅片进行吸附,此种设计是根据现有花篮之间距设计,能直接在花篮中取出硅片,大大提高工作效率;手推移动错位块可以对吸笔头气道盒的相对位置进行调节。此外,该新型批量插卸硅片装置结构设计合理,使用可靠稳定,适合推广使用。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明一种新型批量插卸硅片装置的结构示意图;
图2是图1中A处的局部放大图;
图3是本发明一种新型批量插卸硅片装置的俯视图;
图4是本发明一种新型批量插卸硅片装置的主视图;
图5是本发明一种新型批量插卸硅片装置的内部结构示意图;
其中: 1-底板、2-连接气管、3-竖直定位条、4-吸笔头气道盒、5-水平定位条、6-手握持面板、7-进气口、8-纵向定位杆、9-手推移动错位块、10-镂空盒、11-横向定位杆、12-连接板、13-控制孔、14-第一公共气盒、15-对接口、16-第二公共气盒、17-连接软管、18-吸笔头海绵贴、19-吸笔头气道、20-吸气孔。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。附图为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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