[发明专利]化学品更换智能防呆系统及方法有效
申请号: | 201710218335.4 | 申请日: | 2017-04-05 |
公开(公告)号: | CN108695186B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 赵德闻 | 申请(专利权)人: | 玄创半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;G07C9/00 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 邓文武 |
地址: | 200942 上海市宝山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学品 更换 智能 系统 方法 | ||
1.化学品更换智能防呆方法,化学品更换智能防呆方法通过化学品更换智能防呆系统实现,所述化学品更换智能防呆系统包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车,所述设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端,所述设备通信终端与所述化学品更换防呆服务器通信连接,所述化学品更换防呆服务器通过所述设备通信终端与所述化学品更换智能推车通信连接,所述化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块,所述化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统,所述推车组合柜包括若干化学品储存分柜,所述推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏,操作人员通过所述人机交互触摸屏与所述推车化学品更换控制系统进行信息交互,其特征是包括以下步骤:
⑴化学品更换防呆服务器根据设备通信终端发来的请求更换化学品信息向化学品更换智能推车发送作业指令,操作人员根据收到的作业指令将化学品更换智能推车移动至取品处启动取品作业;
⑵推车化学品更换控制系统通过化学品储存分柜监控模块检查推车组合柜内化学品储存分柜的空闲状态后根据有空闲分柜信息解锁空闲分柜的柜门,操作人员将通过化学品识别模块识别后的更换新品放入空闲分柜;
⑶化学品储存分柜监控模块根据推车化学品信息匹配模块传送的化学品识别模块传送来的更换新品信息与化学品更换防呆服务器传送来的请求更换化学品信息比对一致的信息锁定分柜柜门;
⑷操作人员将化学品更换智能推车移动至设备后通过设备通信终端对接模块与对应的设备通信终端对接通信,化学品更换防呆服务器根据服务器化学品信息匹配模块传送来的更换新品信息与请求更换化学品信息比对一致的信息通过设备化学品容器监控模块解锁对应设备的请求更换化学品容器;
⑸化学品更换防呆服务器通过智能推车对接模块向推车化学品更换控制系统传送解锁分柜柜门的指令,化学品储存分柜监控模块根据解锁指令解锁对应的分柜柜门,操作人员取出分柜内的更换新品进行更换化学品的作业。
2.根据权利要求1所述的化学品更换智能防呆方法,其特征在于,所述推车化学品更换控制系统还包括化学品容器容积检测模块,在步骤⑶过程中,化学品容器容积检测模块向化学品储存分柜监控模块传送更换新品容器的容积信息,化学品储存分柜监控模块根据更换新品信息与请求更换化学品信息比对一致的信息、更换新品容器是满容积的信息锁定分柜柜门。
3.根据权利要求2所述的化学品更换智能防呆方法,其特征在于,在步骤⑷过程中,操作人员通过化学品识别模块获取请求更换化学品容器的信息,推车化学品信息匹配模块将请求更换化学品容器的信息与化学品储存分柜内的更换新品信息比对一致的信息通过设备通信终端对接模块传送给化学品更换防呆服务器,化学品更换防呆服务器根据服务器化学品信息匹配模块传送来的比对一致的信息、推车化学品信息匹配模块传送来的比对一致的信息通过设备化学品容器监控模块解锁对应设备的请求更换化学品容器。
4.根据权利要求3所述的化学品更换智能防呆方法,其特征在于,化学品更换智能防呆方法还包括以下后续步骤:
⑹操作人员将通过化学品识别模块再次识别的更换下来的请求更换化学品容器放入空闲分柜,化学品储存分柜监控模块根据推车化学品信息匹配模块传送的请求更换化学品容器的信息与化学品储存分柜内已取走的更换新品信息比对一致的信息锁定分柜柜门。
5.根据权利要求4所述的化学品更换智能防呆方法,其特征在于,在步骤⑹过程中,化学品容器容积检测模块向化学品储存分柜监控模块传送更换下来的请求更换化学品容器的容积信息,化学品储存分柜监控模块根据更换下来的请求更换化学品容器的信息与已取走的更换新品信息比对一致的信息、更换下来的请求更换化学品容器是空容积的信息锁定分柜柜门。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造