[发明专利]一种激光能量测量组件、测量仪与测量方法

权利要求书

1.一种激光能量接收组件，其特征在于包括接收镜头(9)、探测器、衰减吸收装置和信号连接接口(17)，所述衰减吸收装置包括衰减分光镜(8)、分光镜固定座(14)和能量吸收装置，所述探测器包括能量探头(11)、探头固定座(7)和探头密封盖(4)，其中所述接收镜头(9)、能量探头(11)和衰减分光镜(8)分别连接在探头固定座(7)的三个自由端，衰减分光镜(8)另一面与分光镜固定座(14)连接，所述能量吸收装置包括能量吸收器(15)和热沉(16)，所述能量吸收器连接在衰减分光镜(8)的后面，所述热沉(8)连接在探测器的下面。

2.如权利要求1所述的一种激光能量接收组件，其特征在于所述的接收镜头(9)采用大口径镜头，双凸透镜。

3.如权利要求1所述的一种激光能量接收组件，其特征在于所述衰减分光镜(8)表面蒸镀高功率介质增透膜，反射率为10％。

4.如权利要求1或3所述的一种激光能量接收组件，其特征在于所述衰减分光镜(8)与透镜光轴成45°角。

5.如权利要求1所述的一种激光能量接收组件，其特征在于所述能量探头(11)采用PE50-C热释电能量计探头。

6.如权利要求1所述的一种激光能量接收组件，其特征在于所述信号连接接口(17)采用LEMO航插。

7.一种激光能量检测仪，其特征在于，包括具有权利要求1-6任意一项所述的激光能量接收组件。

8.一种激光能量检测方法，其特征在于进行激光能量测量时，发射激光，进入接收镜头(9)，然后经衰减分光镜(8)，90％的能量透射进入能量吸收器(15)，10％的激光能量进入能量探头(11)，转化为电信号，经放大、去噪、滤波以及A/D处理后以USB通信接口的方式发送到测量控制器，进行数据采集和标校则完成能量测量工作。