[发明专利]脆性基板划线器用粉尘去除装置

说明书

本发明的目的在于去除划线时所产生的粉尘。本案涉及脆性基板划线器用粉尘去除装置。该脆性基板划线器用粉尘去除装置设置有：粉尘上升部(51)，具备使划线轮向下通过的头通道(51d)，喷出空气而形成包围划线轮的空气幕，并且使划线时所产生的粉尘从基板(A)上升；空气供给机构，对粉尘上升部(51)供给空气；流速调节部，控制对粉尘上升部(51)供给的空气的流动量，而调节从粉尘上升部(51)喷出的空气的流速；及排出机构，将通过粉尘上升部(51)的作用而上升的粉尘与空气一起从空气幕的内侧区域排出到外部。

技术领域

本发明涉及使用于切断具有脆性的各种基板的划线器，更详细来说，涉及能够去除划线时产生的粉尘的脆性基板划线器用粉尘去除装置。

背景技术

作为用以将包含玻璃基板的各种脆性基板切断成所需尺寸的工具，使用具备划线轮的划线器。划线器使切断轮以压接于基板的表面的状态一面施加负荷一面行走，从而在基板表面形成划线。在形成划线后，进行以划线为中心对基板施加弯曲力而将之切断的分段过程。

划线轮以支撑在划线头的下端部的状态相对于基板滚动运动而形成划线，但此时会产生大量粉尘。粉尘例如为玻璃粉，从基板分离的细微的基板粒子飞散。

此种粉尘污染划线头本身自不必说，也污染头周边，成为使作业精度下降的原因，又，有时也会进入到作业者的呼吸器中而引起产业灾害。

为了解决此种问题，提出有使用真空吸附装置吸取粉尘，或喷射空气使粉尘飞散，或进行涮洗等方法，但满意地去除一面不规则地飞散一面产生的粉尘存在极限。

例如，在专利文献1中，揭示有由喷嘴底座、罩及安装部组装构成的喷嘴，但无法使用所述喷嘴完美地去除粉尘。其理由为排出喷出的空气并不顺利。

在所述以往的吸尘机中，空气的排出通道为半轨道状槽与贯通孔，但由于半轨道状槽仅覆盖贯通孔的一半，故上升到贯通孔上部的空气与粉尘的一部分无法进入半轨道状槽，而直接排出到大气中。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：韩国登录专利公报第10-1256092号

发明内容

[发明所要解决的问题]

本发明是为了解决所述问题而研究成的，能够提供一种脆性基板划线器用粉尘去除装置，形成包围划线轮周边的空气幕而不使粉尘流失，且使用形成空气幕的空气的运动能量而使粉尘从基板上升并同时排出，故粉尘去除迅速且去除效率优异。

此外，本发明由于能够根据需要而调节形成空气幕的空气的流速，故通过配合粉尘微粒的重量将流速调节成最佳，能够不管基板种类或划线作业特性而均完美地去除粉尘。

[解决问题的技术手段]

本发明的脆性基板划线器用粉尘去除装置的特征在于包含：粉尘上升部，具备使划线轮向下通过的头通道，喷出空气而形成包围所述划线轮的空气幕，并且使划线时所产生的粉尘从基板上升；空气供给机构，对所述粉尘上升部供给空气；流速调节部，控制对所述粉尘上升部供给的空气的流动量，而调节从所述粉尘上升部喷出的空气的流速；及排出机构，将通过所述粉尘上升部的作用而上升的粉尘与空气一起从所述空气幕的内侧区域排出到外部。

此外，也可为所述粉尘上升部采用相对于基板形成为水平的板的形态；且包含底板，所述底板具有：空气室，接收通过所述空气供给机构供给的空气；及空气喷出部，将所述空气室内的空气向基板喷出。

此外，也可为所述空气喷出部包含多个喷射孔或喷射狭缝，所述喷射孔或喷射狭缝形成于所述头通道的周边，将所述空气室内的空气以偏向于所述划线轮侧的方式喷出。