[发明专利]单晶炉的锅跟比调节方法及锅跟比调节装置

权利要求书

1.一种单晶炉的锅跟比调节方法，其特征在于，包括：

根据当前时刻坩埚内的剩余料重量得到当前时刻坩埚内的剩余料体积；

根据所述坩埚内的剩余料体积和所述坩埚的内部尺寸得到当前时刻的所述坩埚内的液面位置；

根据所述坩埚内的液面位置和对应该液面位置的计算公式得到当前时刻的理论锅跟比；

根据当前时刻所述理论锅跟比调整所述坩埚的提升速度，使所述坩埚的当前时刻的实际锅跟比接近所述理论锅跟比。

2.根据权利要求1所述的单晶炉的锅跟比调节方法，其特征在于，所述当前时刻坩埚内的剩余料重量由装料总重量减去当前时刻的晶体重量得到。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的锅跟比调节方法，其特征在于，所述晶体重量通过称重装置实时称量得到，所述装料总重量通过预先称量得到。

4.根据权利要求1所述的单晶炉的锅跟比调节方法，其特征在于，所述根据当前时刻坩埚内的剩余料重量得到当前时刻坩埚内的剩余料体积具体为：当前时刻所述坩埚内的剩余料重量除以硅在1450℃时的密度，得到所述坩埚内的剩余料体积。

5.根据权利要求1所述的单晶炉的锅跟比调节方法，其特征在于，所述坩埚的内部由上至下依次为柱体段、圆弧段和底部段，所述根据所述坩埚内的液面位置和对应该液面位置的计算公式得到当前时刻的理论锅跟比具体为：

根据液面位置的高度判断所述液面位置位于所述坩埚的柱体段、圆弧段或底部段内；

根据所述液面位置所在的坩埚段所对应的计算公式计算得到当前时刻的理论锅跟比。

6.根据权利要求1所述的单晶炉的锅跟比调节方法，其特征在于，所述根据当前时刻所述理论锅跟比调整所述坩埚的提升速度具体为：

根据当前时刻所述理论锅跟比和所述坩埚的当前时刻的实际锅跟比得到当前时刻的锅跟比偏差；

根据当前时刻所述锅跟比偏差调节所述坩埚的提升速度。

7.根据权利要求6所述的单晶炉的锅跟比调节方法，其特征在于，所述根据当前时刻所述理论锅跟比和所述坩埚的当前时刻实际锅跟比得到当前时刻的锅跟比偏差具体为：

当前时刻所述实际锅跟比减去当前时刻理论锅跟比，得到当前时刻的所述锅跟比偏差。

8.根据权利要求7所述的单晶炉的锅跟比调节方法，其特征在于，所述根据当前时刻所述锅跟比偏差调节所述坩埚的提升速度具体为：若所述锅跟比偏差为正值，则调节所述坩埚的提升速度减小；若所述锅跟比偏差为负值，则调节所述坩埚的提升速度增加。

9.一种单晶炉的锅跟比调节装置，其特征在于，包括：

剩余料体积获取单元，用于根据当前时刻坩埚内的剩余料重量得到当前时刻坩埚内的剩余料体积；

剩余料液位确定单元，用于根据所述坩埚内的剩余料体积和所述坩埚的内部尺寸得到当前时刻的所述坩埚内的液面位置；

锅跟比计算单元，用于根据所述坩埚内的液面位置和对应该液面位置的计算公式得到当前时刻的理论锅跟比；

坩埚速度调节单元，用于根据当前时刻所述理论锅跟比调整所述坩埚的提升速度，使所述坩埚的当前时刻的实际锅跟比接近所述理论锅跟比。

10.根据权利要求9所述的锅跟比调节装置，其特征在于，所述剩余料体积获取单元包括：

剩余料重量计算模块，用于根据装料总重量减去当前时刻的晶体重量得到当前时刻坩埚内的剩余料重量；

剩余料体积转化模块，用于当前时刻所述坩埚内的剩余料重量除以硅在1450℃时的密度，得到所述坩埚内的剩余料体积。