[发明专利]一种制备电子级三氯氢硅的装置

权利要求书

1.一种制备电子级三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：

反应器，用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料三氯氢硅进行反应；

提纯塔，用于将所述反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到提纯产品；以及

吸附提纯单元，用于将所述提纯产品进一步去除杂质，得到电子级三氯氢硅。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯塔包括与所述反应器依次连通的第一脱重塔、脱轻塔和第二脱重塔，其中，所述脱轻塔和所述第二脱重塔采用差压热耦合，所述第二脱重塔的顶气相作为所述脱轻塔的再沸器热源利用后再返回所述第二脱重塔，冷凝后部分产物采出进所述吸附提纯单元。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述脱轻塔的操作压力范围为0.1～0.3MPa，所述第二脱重塔的操作压力范围为0.3～0.8Mpa，所述脱轻塔和所述第二脱重塔两塔压差范围为0.2～0.6MPa；所述脱轻塔的再沸器中加热介质的平均温度高于冷却介质的平均温度20～70℃。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提纯塔为填料塔或筛板塔，所述提纯塔的材质为316L不锈钢，内壁经电解抛光，表面粗糙度为0.1～0.5μm，与物料接触的管道选用316L不锈钢材质的电解抛光管道，阀门选用隔膜阀。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器为具有控温、控压和搅拌功能的反应器。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述吸附提纯单元包括1台或多台吸附柱，所述吸附柱内填料为络合相应官能团的聚合树脂或活性炭，其中，所述聚合树脂根据功能基团分别用于吸附B、P和金属杂质，所述金属杂质包括Al、Fe、Cr或Ni。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述吸附柱的高径比在2～9之间，温度在20～70℃之间，压力在0.2～1.0Mpa之间，所述吸附柱的材质为316L不锈钢，内壁经电解抛光，表面粗糙度为0.1～0.5μm。