[发明专利]一种浮动加热式快速启动扩散泵

权利要求书

1.一种浮动加热式快速启动扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其特征在于：蒸发系统采用浮动加热的加热方式，蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，加热器设置在加热区内，对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气；加热器固定在中间隔板上，中间隔板能够漂浮在泵油中，使加热区在正常的泵油范围内始终保持恒定不变；泵芯中的蒸气导管上有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，并能实现扩散泵的快速启动。

2.根据权利要求1所述的浮动加热式快速启动扩散泵，其特征在于所述蒸发系统悬空绝热安装在泵体内底部，所述蒸发系统与冷却系统完全隔离。

3.根据权利要求1所述的浮动加热式快速启动扩散泵，其特征在于所述中间隔板采用隔热板，以减少所述加热区与储油区之间的热传导。

4.根据权利要求1所述的浮动加热式快速启动扩散泵，其特征在于所述中间隔板的底部设置成凸环与凹环相间的形状，有利于缩小加热区的容积、使加热速率更快、能耗更低。

5.根据权利要求1所述的浮动加热式快速启动扩散泵，其特征在于所述扩散泵装有油泵，所述油泵通过泵油的循环喷射，将蒸发系统和泵芯与冷却系统联系在一起。

6.根据权利要求1所述的浮动加热式快速启动扩散泵，其特征在于所述加热器为环形加热管或加热棒。

7.根据权利要求1所述的浮动加热式快速启动扩散泵，其特征在于所述加热器为电阻加热或感应加热。

8.根据权利要求1所述的浮动加热式快速启动扩散泵，其特征在于所述泵芯中的蒸气导管其底部插入对应加热区的泵油中，将加热区进行分区和分隔。