[发明专利]一种扩散泵

权利要求书

1.一种扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其特征在于：所述蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件，蒸发器悬空、绝热或隔热安装在泵体内底部，蒸发器的外围有隔热保温材料或真空腔对其进行隔热保温，加热器安装在蒸发器底部的外侧、内侧或悬空安装在蒸发器内；喷射系统中蒸气导管的顶部是固定喷头或旋转喷头，固定喷头的喷嘴或是现有技术的伞帽形扩散喷嘴、蒸气从喷嘴喷出后形成稳定的伞状气流，或是在固定喷头的周边均匀布置的向斜下方或后斜下方喷射的一组喷嘴、蒸气从喷嘴喷出后形成立体气流团或旋转的漩涡状的气流团；旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时产生的反作用力能够使旋转喷头高速旋转，使蒸气喷出后形成类似于龙卷风似的漩涡状的气流团。

2.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于蒸发系统采用即时加热或浮动即时加热的加热方式，加热器设置在泵油内，对泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气。

3.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述蒸发器具有加热区和储油区，两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通，中间隔板固定安装或漂浮在泵油中，中间隔板采用隔热板或绝热板，以减少加热区与储油区之间的热传导。

4.根据权利要求1或3所述的扩散泵，其特征在于所述蒸发器或中间隔板的底部设置成凸环与凹环相间的形状，有利于缩小加热区的容积、使加热速率更快、能耗更低。

5.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述扩散泵的内部或外部设置有油泵，所述油泵通过泵油的循环喷射，将所述扩散泵的蒸发系统和泵芯与冷却系统联系在一起。

6.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述泵芯或蒸气导管上安装有加热装置，能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，并能实现扩散泵的快速启动。

7.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述喷嘴喷出的蒸气其形状类似于轴流风机的叶片。

8.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述旋转喷头上还安装有机械叶片。

9.一种快速启动的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其特征在于：泵芯内部或泵芯上或泵芯周围设置有加热装置，加热装置的加热温度接近但低于蒸气的分解温度，加热装置能够提高泵芯和蒸气的温度，增加喷射蒸气的速率和动能，并能实现扩散泵的快速启动。

10.一种旋转喷射的扩散泵，包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统，其特征在于：喷射系统中蒸气导管的顶部是旋转喷头，旋转喷头的周围有一系列喷嘴，喷嘴喷出蒸气时产生的反作用力能够使旋转喷头高速旋转，使蒸气喷出后形成类似于龙卷风似的漩涡状的气流团。