[发明专利]一种用于测量气体汤逊放电参数的真空实验装置

权利要求书

1.一种用于测量气体汤逊放电参数的真空实验装置，其特征在于：包括光电双通路高压密封套管（1）、放电室上盖（2）、真空放电室（5）、真空放电室扩展观察窗（6）、抽真空系统连接法兰（7）、真空挡板阀（8）、真空系统连接气道（9）、真空放电室下座圈（10）、真空放电室下盖（11）、真空放电室平台固定螺孔（12）、下盖密封螺栓（13）、真空电极（15）、下电极连接线（16）、密封传动包（18）、下电极螺杆（20）、放电间隙（21）、真空放电室主观察窗（22）、真空放电室扩展连接口（23）、真空度调节器（24）、真空放电室进样气道（25）;

所述光电双通路高压密封套管（1）穿过真空放电室上盖（2），进入真空放电室（5）中，所述真空放电室上盖（2）通过上盖密封螺栓（4）安装于真空放电室（5）上端，所述真空放电室（5）外接有真空放电室扩展观察窗（6）和真空放电室扩展连接口（23），所述真空挡板阀（8）连接于抽真空系统连接气道（9）处，所述抽真空系统连接法兰（7）安装于真空挡板阀（8）下方，所述真空放电室下盖（11），通过下盖密封螺栓（13）与真空放电室下座圈（10）刚性连接，所述真空放电室下盖（11）外缘开设有真空放电室平台固定螺孔（12），所述密封传动包（18）安装于真空放电室下盖（11）两侧，用于实现真空放电室（5）内外的动力传输，所述放电间隙（21）通过光电双通路高压密封套管（1）和下电极螺杆（20）悬吊于真空放电室（5）中间，所述放电间隙（21）通过下电极连接线（16）与真空电极（15）相连，所述真空度调节器（24）通过法兰安装于真空放电室进样气道（9）处，所述真空放电室主观察窗（22）焊接于真空放电室（5）外侧，与放电气隙（21）保持水平，所述真空度调节器（24）安装于真空放电室进样气道（25）处。

2.根据权利要求项1所述一种用于测量气体汤逊放电参数的真空实验装置，其特征在于，所述真空放电室上盖（2）与真空放电室（5）接触面上，使用上盖氟胶O型密封圈（3）实现气密封，所述下真空放电室下盖（11）与真空放电室下座圈（10）接触面上，使用下盖氟胶O型密封圈（14）实现气密封。

3.根据权利要求项1所述一种用于测量气体汤逊放电参数的真空实验装置，其特征在于，所述密封传动包（18）由磁流体密封装置（17）和传动齿轮（19）组成；

所述磁流体密封装置（17）安装于真空放电室下盖（11）外侧，所述所述传动齿轮（19）安装于真空放电室（5）内侧。

4.根据权利要求项1所述一种用于测量气体汤逊放电参数的真空实验装置，其特征在于，所述放电间隙（21）由上电极光学镜片架（2-1），罗可夫斯基上电极（2-2），激发电子入口（2-3），罗可夫斯基下电极（2-4），下电极绝缘（2-5），光路辅助镜片（2-6），密封石英镜片（2-9）组成；

所述上电极光学镜片架（2-1）上部通过螺纹安装于光电双通路高压密封套管（1）下方，下部安装有罗可夫斯基上电极（2-2），所述电极光学镜片架（2-1）下方镶嵌有光路辅助镜片（2-6），用以提供激发电子，所述光路辅助镜片（2-6）未与电极光学镜片架刚性连接，可通过上电极辅助气道（2-8）进行替换，所述激发电子入口（2-3）由镍金属网构成，通过外壁螺纹安装于罗可夫斯基上电极（2-2）中心处，所述罗可夫斯基下电极（2-4）下侧连接有下电极绝缘（2-5），以防止放电信号泄漏，所述下电极绝缘（2-5）与下电极螺杆（20）相连，用以调整放电间隙（21）的距离，所述密封石英镜片（2-9）通过密封胶水粘接于光电双通路高压密封套管（1）下端，用以实现光通路和气密封。

5.根据权利要求项1所述一种用于测量气体汤逊放电参数的真空实验装置，其特征在于，所述放电间隙（21）中的由上电极光学镜片架（2-1）和下电极绝缘（2-5）开设有上电极辅助气道（2-8）和下电极辅助气道（2-6），用以加速闭锁空间的抽真空过程，防止残留气。