[发明专利]一种锗氮共掺的碳化硅单晶材料的生长方法有效
| 申请号： | 201710229299.1 | 申请日： | 2017-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN106968018B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 陈秀芳;李天;徐现刚;胡小波 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 陈桂玲 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 锗氮共掺 碳化硅 材料 生长 方法 | ||
【说明书】：
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