[发明专利]二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710233104.0 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN107064242B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 陈向东;李宁 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 51232 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 敖欢;葛启函 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米银粒子 二硫化钼 电极基片 水分散液 掺杂 湿度传感器 复合材料 分散液 附着 二氧化硅层表面 复合材料薄膜 二氧化硅层 响应灵敏度 保护气体 表面形成 超声分散 第二电极 第一电极 干燥处理 硅基片 掺入 制备 复合 响应 | ||
1.一种二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)将粒径小于等于100纳米的纳米银粒子掺入水中形成浓度为0.1～4.0毫克/毫升的纳米银粒子水分散液，将所述纳米银粒子水分散液掺入浓度为0.1～4.0毫克/毫升的二硫化钼水分散液中，掺入的纳米银粒子水分散液和二硫化钼水分散液的体积比小于等于1:5且大于等于1:20，超声分散2～24小时，得到二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料分散液；
(2)将硅基片清洗干净，在硅基片表面用热氧化法形成一层二氧化硅层，然后用真空镀膜法在二氧化硅层表面形成第一电极和第二电极，得到电极基片，所述第一电极和第二电极为金电极；
(3)取1.0～10.0微升的步骤(1)中得到的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料分散液，利用涂覆法附着到步骤(2)中得到的电极基片表面，然后将该电极基片放置入不高于50℃的保护气体中静置1～2小时进行干燥处理，从而得到表面附着有一层二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料薄膜的电极基片；
(4)通过测量步骤(3)中得到的表面附着有一层二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料薄膜的电极基片的第一电极和第二电极之间的电容变化来测量湿度。
2.根据权利要求1所述的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器的制备方法，其特征在于：步骤(2)中的真空镀膜法为蒸发镀膜法或溅射镀膜法。
3.根据权利要求1所述的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器的制备方法，其特征在于：步骤(3)中的涂覆法为滴涂法、旋涂法或喷涂法其中的一种。
4.根据权利要求1所述的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器的制备方法，其特征在于：步骤(3)中的保护气体为氮气。
5.一种二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器，其特征在于：其采用权利要求1至4任意一项所述方法制备得到。
6.根据权利要求5所述的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器，其特征在于，包括：底部的硅基片、硅基片上方的二氧化硅层、二氧化硅层表面的第一电极和第二电极、第一电极和第二电极之间及上表面的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合材料薄膜。
7.根据权利要求6所述的二硫化钼掺杂纳米银粒子复合湿度传感器，其特征在于：电极基片中电极图形为梳齿状且交错排列，即相邻的第一电极之间设有第二电极，相邻的第二电极之间设有第一电极。
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