[发明专利]硬掩模用组合物

权利要求书

1.一种硬掩模组合物，其包含聚合物和溶剂，所述聚合物包含选自由下述化学式1-1和化学式1-2组成的组中的至少一种重复单元，

所述聚合物通过如下化合物与含有炔基的咔唑系化合物的缩合反应而制造，所述化合物为选自由碳原子数13～41的酮化合物、碳原子数1～25的醛化合物和碳原子数1～25的二醇化合物组成的组中的至少一种，

化学式1-1

式中，Ar₁及Ar₂各自独立地为碳原子数6～20的芳香族烃基，或者Ar₁为氢原子且Ar₂为碳原子数1～25的烃基，

Ar₁和Ar₂可彼此连结而形成5～7元环，n为1～3的整数，

化学式1-2

式中，Ar₃为4～20的亚芳基。

2.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，所述含有炔基的咔唑系化合物由下述化学式2表示，

化学式2

式中，n为1～3的整数。

3.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，所述酮化合物为下述化学式3所表示的化合物，

化学式3

式中，Ar₁及Ar₂各自独立地为碳原子数6～20的芳香族烃基，Ar₁和Ar₂可彼此连结而形成5～7元环。

4.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，所述二醇化合物为下述化学式4所表示的化合物，

化学式4

式中，Ar₃为碳原子数6～20的亚芳基，R₁及R₂各自独立地为氢原子、甲基或乙基。

5.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，所述聚合物的重均分子量为500～15000。

6.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，组合物总重量中，所述聚合物的含量为10～50重量％，所述溶剂的含量为50～90重量％。

7.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，进一步包含交联剂和催化剂中的至少一种。