[发明专利]制作含抗细菌真菌涂层的涂覆制品的方法及所得产物

权利要求书

1.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括以下步骤：

提供包含锆的第一溅射目标；

提供包括锌的第二溅射目标；和

共同溅射至少第一溅射目标和第二溅射目标，来在玻璃基板上形成包括Zn_xZr_yO_z的层，其中所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述层被溅射沉积以便包括约0.5％至10％的(原子)锌、约25％至45％的(原子)锆、约50％至70％的(原子)氧。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述层被溅射沉积以便包括约1％至8％的(原子)锌、约30％至40％的(原子)锆、约55％至65％的(原子)氧。

4.如权利要求1所述所述的方法，进一步包括以下步骤：

将所述涂覆制品热回火。

5.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括：

提供包含锆的第一溅射目标；

提供包括锌的第二溅射目标；和

从第一溅射目标和第二溅射目标按次序溅射到玻璃基板上，来形成至少一个包含锆的第一层、直接位于包含锆的第一层上的包含锌的第二层；和

将所述玻璃基板与位于其上的第一层和第二层热回火以形成包括由锌锆氧化物组成的层并且具有抗细菌和/或抗真菌性能的涂覆制品。

6.一种制作抗细菌和/或抗真菌涂覆制品的方法，所述方法包括：

在至少存在氧的条件下将锌和锆溅射到玻璃基板上；和

在玻璃基板上形成包括Zn_xZr_yO_z的层，其中，所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧，且其中，所述层基本抑制细菌和真菌的生长。

7.如权利要求6所述所述的方法，进一步包括以下步骤：

将所述涂覆制品热回火。

8.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括：

提供包含锆的第一溅射目标；

提供包括锌的第二溅射目标；和

从第一溅射目标和第二溅射目标共同溅射到玻璃基板上，来形成包括Zn_xZr_yO_z的层，其中，对第一目标和第二目标应用不同的溅射功率以控制该层的组合物。

9.如权利要求8所述的方法，其中，用于锌目标的功率为约1.6至3.6千瓦，且用于锆目标的功率为约1.5至3.5千瓦。

10.如权利要求8所述的方法，其中，所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧。

11.如权利要求8所述的方法，进一步包括以下步骤：

将所述涂覆制品热回火。

12.一种制作涂敷制品的方法，所述方法包括以下步骤：

提供包含锆的第一溅射目标；

提供包括锌的第二溅射目标；和

从第一溅射目标和第二溅射目标共同溅射，来在玻璃基板上形成包括Zn_xZr_yO_z的层，其中，所述第一溅射目标和第二溅射目标彼此偏移大于零度的角度θ。

13.如权利要求12所述的方法，其中，所述角度θ大于5度且小于约60度。

14.如权利要求12所述的方法，其中，所述角度θ为约30至约45度。

15.如权利要求12所述的方法，进一步包括以下步骤：

将所述涂覆制品热回火。

16.如权利要求12所述的方法，其中，所述层包括约0.25％至15％的(原子)锌、约20％至50％的(原子)锆、约40％至80％的(原子)氧。

17.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：

在玻璃基板与包括Zn_xZr_yO_z的层之间提供势垒层。