[发明专利]氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层

权利要求书

1.沉积在基材表面上的氟化钇喷涂涂层，其具有：10至500μm的厚度，包含YF₃和至少一种选自Y₅O₄F₇和YOF的化合物的氟化钇晶体结构，2至4.8重量％的氧浓度和至少350HV的硬度，并且所述喷涂涂层具有基于所述涂层的表面积计的至多5％的开裂量，

其中利用具有单个粒化的粉末的形式的氟化钇喷涂材料形成所述氟化钇喷涂涂层，所述单个粒化的粉末按照如下方式得到：通过将YF₃源粉末和Y₂O₃源粉末的粉末混合物通过喷雾干燥而粒化、并将粒化的粉末烧成单个粒化的粉末，所述粉末混合物包含95至85重量％的YF₃源粉末和5至15重量％的Y₂O₃源粉末。

2.根据权利要求1所述的喷涂涂层，其具有至多5％的孔隙率，基于所述涂层的表面积计。

3.根据权利要求1所述的喷涂涂层，其具有由YF₃、Y₂O₃、和选自Y₅O₄F₇和YOF的至少一种化合物组成的氟化钇晶体结构。

4.根据权利要求1所述的喷涂涂层，其具有至多0.01重量％的碳含量。

5.根据权利要求1所述的喷涂涂层，其中氧浓度为2至4重量％。

6.用于形成根据权利要求1所述的氟化钇喷涂涂层的氟化钇喷涂材料，其为基本上由9至27重量％的Y₅O₄F₇和余量的YF₃组成的粒化的粉末的形式，

所述喷涂材料具有单个粒化的粉末的形式，

其中所述单个粒化的粉末按照如下方式得到：通过将YF₃源粉末和Y₂O₃源粉末的粉末混合物通过喷雾干燥而粒化、并将粒化的粉末烧成单个粒化的粉末，所述粉末混合物包含95至85重量％的YF₃源粉末和5至15重量％的Y₂O₃源粉末。

7.根据权利要求6所述的氟化钇喷涂材料，其中粒化粉末在真空或惰性气体气氛中在600至1000℃烧制1至12小时。

8.根据权利要求6所述的氟化钇喷涂材料，其中YF₃源粉末和Y₂O₃源粉末的每种是具有0.01至3μm的粒度D₅₀的单个颗粒的集合。

9.根据权利要求6所述的氟化钇喷涂材料，其中所述单个粒化的粉末具有10至60μm的粒度D₅₀。

10.根据权利要求6所述的氟化钇喷涂材料，其中所述单个粒化的粉末具有Y₅O₄F₇晶体和YF₃晶体的混合物的晶体结构。

11.具有多层结构的抗腐蚀涂层，包括具有10至500μm的厚度和至多5％的孔隙率的稀土氧化物喷涂涂层形式的下层和根据权利要求1所述的氟化钇喷涂涂层形式的最外表面层。

12.根据权利要求11所述的涂层，其中所述稀土氧化物喷涂涂层的稀土元素为选自Y、Sc、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb和Lu的至少一种元素。