[发明专利]具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源在审
| 申请号： | 201710234464.2 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108695128A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 刘杰 | 申请（专利权）人： | 上海伟钊光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201822*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极灯丝 离子束流 束流 输出 考夫曼离子源 自动反馈 电路 光学薄膜结构 自动反馈电路 负反馈信号 离子源辅助 离子源设备 真空室真空 镀膜过程 工作气体 光学薄膜 控制电路 人工干预 实时跟踪 维持稳定 真空镀膜 逐渐减小 牢固度 离子源 热蒸发 扰动 镀膜 减小 采集 传递 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源，其特征在于通过负反馈电路的自动调节，使离子束流输出稳定。
2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于取样比较电路中通过取样屏栅到地之间的离子束流值并与设定束流值相比较，产生负反馈信号。
3.如权利要求1所述的离子源，其特征在于负反馈信号通过改变阴极灯丝的功率，从而改变阴极热电子发射量，实现离子束流自动反馈控制。
4.如权利要求1所述的离子源，其特征在于负反馈信号传递给移相调压反馈回路，通过控制晶闸管的开关相位导通角控制阴极灯丝变压器的输出功率。
5.如权利要求1所述的离子源，其特征在于负反馈信号的大小是通过PID算法获得的。
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