[发明专利]射束电流测量器件和带电粒子束照射装置

权利要求书

1.一种用于测量带电粒子束的射束电流分布的射束电流测量器件，其包括在布置方向上布置成一列且在物理上彼此分离的多个收集电极，所述多个收集电极的检测区域在所述多个收集电极的所述布置方向上无缝隙地连续。

2.根据权利要求1所述的射束电流测量器件，其中，当从相对于所述收集电极的射束接收侧观看所述收集电极时，所述收集电极之中的相邻收集电极彼此部分地重叠。

3.根据权利要求2所述的射束电流测量器件，其还包括转接电路，所述转接电路被构造成选择性地转接所述收集电极之中的一个或多个目标收集电极，以将所述目标收集电极用于测量。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的射束电流测量器件，其还包括射束成形遮挡部和次级电子抑制电极，所述射束成形遮挡部和所述次级电子抑制电极均位于相对于所述收集电极的射束接收侧，所述遮挡部和所述次级电子抑制电极之中的每一者形成有单个开口，在从相对于所述遮挡部和所述次级电子抑制电极的射束接收侧观看时，所述开口对应于所述多个收集电极。

5.一种带电粒子束照射装置，其包括：

根据权利要求1-4中任一项所述的射束电流测量器件；

射束传送路径；以及

处理室，其用于在内部处理目标，

其中，所述射束电流测量器件设置在所述射束传送路径或所述处理室中。