[发明专利]一种彩色色阻的制作方法

说明书

本发明公开了一种彩色色阻的制作方法，包括：在衬底上形成具有第一标记、第二标记、第三标记、第一镂空区域、第二镂空区域和第三镂空区域的黑色矩阵层；依次移动光罩使对位标记分别与各标记对齐；分别用光罩在黑色矩阵层上形成第一色阻和第一色块、第二色阻和第二色块、以及第三色阻和第三色块，并根据各色块和相应镂空区域的位置关系来核对各色阻位置；第一标记/第一镂空区域和第二标记/第二镂空区域之间在竖直方向上间隔第一距离，第一标记/第一镂空区域和第三标记/第三镂空区域之间在竖直方向上间隔第二距离；第一距离和第二距离被配置成使第一色块、第二色块和第三色块互不交叠。采用本方案可在不改变色块大小的前提下使各色块互不交叠。

技术领域

本发明涉及彩膜基板的制造技术领域，尤其涉及一种彩色色阻的制作方法。

背景技术

目前，在制作彩色色阻时，可通过采用同一光罩制备彩色色阻及相应的检测用色块，来降低光罩数量和制作成本。

在开始制作彩色色阻时，需要利用黑色矩阵光罩在衬底基板上形成对位标记。图1为现有技术中对位标记的示意图。如图1所示，对位标记(Alignment Mark)包括对位标记101和对位标记102。其中，玻璃基板上的黑色矩阵(BM on Glass)具有对位标记101。而对位标记102则设置在RGB光罩(RGB Mask)上。

对位标记101具体包括三个黑色矩阵对位标记。其中，第一个黑色矩阵对位标记与第二个黑色矩阵对位标记相隔一个子像素的宽度H。第一个黑色矩阵对位标记与第三个黑色矩阵对位标记相隔两个子像素的宽度2*H。移动RGB光罩。当RGB光罩上的对位标记102依次与各个黑色矩阵对位标记101对准时，在相应的位置形成对应各个黑色矩阵对位标记101的色块和色阻。图2为现有技术中的对准监测标记的第一种示意图。如图2所示，对准检测标记包括R色块201、G色块202和B色块203。R色块201与G色块202相隔H，R色块201与B色块203相隔2*H。

图3为现有技术中的对准监测标记的第二种示意图。如图3所示，当在高PPI模式(即高像素密度模式，在此模式下像素尺寸小)下H小于色块的宽度C时，R色块201与G色块202会产生交叠，从而导致无法测量彩色色阻的位置误差的问题。

图4为现有技术中的对准监测标记的第三种示意图。为了使色块不产生交叠，如图4所示，可以将各色块做小。但是尺寸较小的色块会存在易被剥离的风险。

现有技术中彩色色阻的制作方法的缺陷在于：当在高PPI模式下子像素的宽度小于色块的宽度时，色块之间会产生交叠，从而导致无法测量彩色色阻的位置误差的问题，而将色块做小又会存在尺寸较小的色块易被剥离的风险。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种彩色色阻的制作方法，包括：

在衬底基板上形成具有第一标记、第二标记、第三标记、第一镂空区域、第二镂空区域和第三镂空区域的黑色矩阵层；

移动光罩，使所述光罩上的对位标记与所述第一标记对齐；利用所述光罩在所述黑色矩阵层上形成第一色阻和第一色块，并根据所述第一色块和所述第一镂空区域的位置关系来核对所述第一色阻的位置；

移动所述光罩，使所述对位标记与所述第二标记对齐；利用所述光罩在所述黑色矩阵层上形成第二色阻和第二色块，并根据所述第二色块和所述第二镂空区域的位置关系来核对所述第二色阻的位置；

移动所述光罩，使所述对位标记与所述第三标记对齐；利用所述光罩在所述黑色矩阵层上形成第三色阻和第三色块，并根据所述第三色块和所述第三镂空区域的位置关系来核对所述第三色阻的位置；

其中，所述第一标记/第一镂空区域和所述第二标记/第二镂空区域之间在竖直方向上间隔第一距离，所述第一标记/第一镂空区域和所述第三标记/第三镂空区域之间在竖直方向上间隔第二距离；所述第一距离和第二距离被配置成使所述第一色块、第二色块和第三色块互不交叠。