[发明专利]氯硅烷废液的回收系统

权利要求书

1.氯硅烷废液的回收系统，其特征在于，所述回收系统包括：

进料单元(10)；

载气加热单元(20)；

喷雾干燥单元(30)，所述喷雾干燥单元(30)设置有进料口(31)、载气入口(32)和气固混合物出口(33)，且所述进料口(31)与所述进料单元(10)相连通，所述载气入口(32)与所述载气加热单元(20)相连通；及

气固分离单元(40)，所述气固分离单元(40)与所述气固混合物出口(33)相连通。

2.根据权利要求1所述的回收系统，其特征在于，所述进料单元(10)包括：

氯硅烷废液供应装置(11)，所述氯硅烷废液供应装置(11)设置有废液出口(111)，及

蒸发装置(12)，所述蒸发装置(12)设置有废液入口(121)和蒸余液出口(122)，所述废液入口(121)与所述废液出口(111)通过废液输送管路相连通，所述蒸余液出口(122)与所述喷雾干燥单元(30)通过蒸余液输送管路相连通。

3.根据权利要求2所述的回收系统，其特征在于，所述进料单元(10)还包括：

第一过滤装置(13)，设置在所述废液输送管路上，所述第一过滤装置(13)设置有液相出口(131)和固相出口，且所述液相出口(131)与所述废液入口(121)相连通；及

络合剂投料装置(14)，所述络合剂投料装置(14)设置有投料口(141)，且沿所述氯硅烷废液的流动方向，所述投料口(141)与位于所述第一过滤装置(13)上游的所述废液输送管路相连通。

4.根据权利要求2所述的回收系统，其特征在于，所述载气加热单元(20)包括：

载气供应装置(21)，所述载气供应装置(21)通过载气输送管路与所述喷雾干燥单元(30)相连通；及

加热装置(22)，所述加热装置(22)设置在所述载气输送管路上。

5.根据权利要求4所述的回收系统，其特征在于，所述喷雾干燥单元(30)包括雾化器，所述雾化器设置在所述进料口(31)上。

6.根据权利要求4或5所述的回收系统，其特征在于，所述气固分离单元(40)包括：

旋风分离装置(41)，所述旋风分离装置(41)设置有气固混合物入口(411)和旋分气体出口(412)，所述气固混合物入口(411)与所述气固混合物出口(33)相连通；及

第二过滤装置(42)，所述第二过滤装置(42)设置有旋分气体入口(421)和粗氯硅烷气体出口(422)，所述旋分气体入口(421)与所述旋分气体出口(412)相连通。

7.根据权利要求6所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括冷凝单元(50)，所述冷凝单元(50)包括：

冷凝装置(51)，所述冷凝装置(51)设置有粗氯硅烷气体入口(511)和氯硅烷液体出口(512)，所述粗氯硅烷气体入口(511)与所述粗氯硅烷气体出口(422)相连通；及

氯硅烷液体储罐(52)，所述氯硅烷液体储罐(52)设置有氯硅烷液体入口(521)，所述氯硅烷液体入口(521)与所述氯硅烷液体出口(512)相连通。

8.根据权利要求7所述的回收系统，其特征在于，所述冷凝装置(51)还设置有不凝气出口(513)，所述不凝气出口(513)与所述载气输送管路相连通。

9.根据权利要求7所述的回收系统，其特征在于，所述蒸发装置(12)还设置有氯硅烷气体出口(123)，所述氯硅烷气体出口(123)与所述氯硅烷液体储罐(52)通过氯硅烷气体输送管路相连通。

10.根据权利要求9所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括尾气冷凝装置(53)，所述尾气冷凝装置(53)设置在所述氯硅烷气体输送管路上。

11.根据权利要求10所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括气体除尘装置(54)，所述气体除尘装置(54)设置在所述氯硅烷气体出口(123)与所述尾气冷凝装置(53)之间的流路上，且所述气体除尘装置(54)设置有粉尘出口(541)，所述粉尘出口(541)与所述蒸发装置(12)通过粉尘输送管路相连通。

12.根据权利要求2所述的回收系统，其特征在于，所述进料单元(10)还包括蒸余液储罐(15)，所述蒸余液储罐(15)设置在所述蒸余液输送管路上。