[发明专利]一种基于表面等离子激元的太赫兹成像精确定位方法

权利要求书

1.一种基于表面等离子激元的太赫兹成像精确定位方法，其特征在于，包括以下步骤：

首先，在金属膜上制备周期性结构，该周期性结构能够在太赫兹波段激发表面等离子波；

其次，使得待测物体与该周期性结构的相对位置固定；

最后，太赫兹时域光谱仪发出的电磁波入射至上述周期性结构，从而在该周期性结构表面激发出表面等离子波，进而得到该周期性结构亚波长尺度的成像图形，根据待测物体与该周期性结构的相对位置，对待测物体进行定位并成像。

2.根据权利要求1所述的基于表面等离子激元的太赫兹成像精确定位方法，其特征在于，所述周期性结构为圆形周期性结构、三角形周期结构、平行四边形周期结构、多边形周期结构、条纹状周期结构。

3.根据权利要求1或2所述的基于表面等离子激元的太赫兹成像精确定位方法，其特征在于，所述周期性结构为由多个圆形组成的周期性同心圆结构，所述同心圆结构中圆形数量为2个以上，最内侧圆形的直径与相邻圆形间距均相等，范围为0.2～0.4mm。

4.根据权利要求1或2所述的基于表面等离子激元的太赫兹成像精确定位方法，其特征在于，所述金属膜的材料为金，银，铜或铝。

5.根据权利要求1或2所述的基于表面等离子激元的太赫兹成像精确定位方法，其特征在于，所述太赫兹时域光谱仪发出的电磁波，频率范围为100～1000GHz。

6.根据权利要求1或2所述的基于表面等离子激元的太赫兹成像精确定位方法，其特征在于，所述周期性结构蚀刻于金属膜的一个表面或两个表面。

7.一种基于表面等离子激元的太赫兹成像的比例尺制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

使用权利要求1中的周期性结构制备两个已知间距的点，以这两点间的距离作为成像图像的比例尺，得到太赫兹成像过程中的比例尺。