[发明专利]用于减少磁场的接线布局有效
申请号: | 201710242540.4 | 申请日: | 2017-04-13 |
公开(公告)号: | CN107300678B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | I·N·米尔戈罗德斯基;R·帕萨;W·弗兰茨;D·W·李;A·咖布利斯 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 徐东升;赵蓉民 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 减少 磁场 接线 布局 | ||
1.一种磁性传感器,其包括:
衬底;以及
电路区段,其具有设置在所述衬底上的导体层中的四极区,所述电路区段包括:
供应线,其设置在所述导体层中;
第一返回线,其设置在所述导体层中邻近所述供应线,其中所述第一返回线与所述供应线之间的空间没有所述导体层;以及
第二返回线,其设置在所述导体层中邻近所述供应线并与所述第一返回线相对,其中所述第二返回线与所述供应线之间的空间没有所述导体层;其中所述第一返回线和所述第二返回线在所述电路区段的末端处电耦合到所述供应线。
2.根据权利要求1所述的磁性传感器,其中所述第一返回线的宽度等于所述第二返回线的宽度。
3.根据权利要求1所述的磁性传感器,其中所述供应线的宽度等于所述第一返回线的宽度与所述第二返回线的宽度之和。
4.根据权利要求1所述的磁性传感器,其中所述衬底是所述磁性传感器的碱金属蒸气室的板。
5.根据权利要求1所述的磁性传感器,其中所述衬底是所述磁性传感器的垂直腔表面发射激光器即VCSEL的支撑衬底。
6.根据权利要求1所述的磁性传感器,其中所述电路区段具有蛇形配置,其中所述电路区段具有转弯,以使得所述电路区段的两个部分彼此直接邻近,并且所述电路区段的邻近部分之间的空间没有所述导体层。
7.根据权利要求6所述的磁性传感器,其中所述电路区段是多个电路区段中的第一电路区段,所述供应线是第一供应线,并且所述末端是第一末端,所述磁性传感器还包括所述多个电路区段中的第二电路区段,所述第二电路区段具有四极区,所述第二电路区段设置在所述衬底上方,所述第二电路区段包括:
第二供应线,其设置在所述导体层中;
第三返回线,其设置在所述导体层中邻近所述第二供应线,其中所述第三返回线与所述第二供应线之间的空间没有所述导体层;以及
第四返回线,其设置在所述导体层中邻近所述第二供应线并与所述第三返回线相对,其中所述第四返回线与所述第二供应线之间的空间没有所述导体层;
其中所述第三返回线和所述第四返回线在所述第二电路区段的末端处电耦合到所述第二供应线,并且所述第二电路区段具有蛇形配置;并且其中所述第一返回线的一部分平行于所述第三返回线的一部分,并且所述第一返回线的所述部分与所述第三返回线的所述部分之间的空间没有所述第一电路区段和所述第二电路区段。
8.根据权利要求1所述的磁性传感器,其中所述供应线、所述第一返回线和所述第二返回线在所述衬底的表面下方凹陷。
9.根据权利要求8所述的磁性传感器,其中所述末端具有放大图案,其中所述第一返回线与所述供应线之间的接近所述末端的空间大于所述第一返回线与所述供应线之间的接近所述电路区段的连接端的空间,所述电路区段的连接端位于与所述末端相对的所述电路区段的端部处。
10.根据权利要求1所述的磁性传感器,其中所述第一返回线和所述第二返回线在所述末端处电耦合到所述导体层之外的所述供应线。
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