[发明专利]数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法

说明书

公开了数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法。将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备的数据传输方法包括存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于该对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，和发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据。该存储和获得由信息处理设备执行。

技术领域

本实施例的一个方面涉及数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法。

背景技术

在制造诸如设备之类的产品的制造装置中，用于控制制造装置的程序收集多条日志信息并且然后将该多条日志信息作为日志数据存储在制造装置的信息处理设备中，在该多条日志信息中例如记录了关于构成制造装置的各种设备的操作或控制的历史。

当记录在该日志数据中的日志信息的数据被发送时，监视和控制制造装置的外部设备(诸如主机计算机)可以执行生产控制、装置中的异常检测、故障预测、反馈控制等等。

在日本专利特开No.2015-79817中提出的方法是将多个模块的多条日志信息的多条数据发送到外部的方法。

这里，在外部设备中，上述生产控制等是通过使用用于标识制造装置的命令操作的作业的标识符、用于标识由该装置处理的材料的标识符等来执行的。这些标识符是由外部设备和制造装置共享的标识符(以下称为外部标识符)。因此，在日志信息的数据的发送中，必须添加和发送外部标识符。

然而，在制造装置的控制单元中，在某些情况下，仅使用在制造装置中使用的标识符(以下称为内部标识符)将诸如用于标识命令所操作的作业的标识符之类的标识符记录在日志信息中。因此，当发送日志信息的数据时，在某些情况下，不包含外部标识符的信息的日志信息的数据被发送，使得不可能在外部设备中使用用于上述生产控制等的数据。

发明内容

根据实施例的一个方面的数据传输方法是将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备的数据传输方法。该数据传输方法包括：存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于所述对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，以及发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据。所述存储和获得由信息处理设备执行。

从以下参考附图对示例性实施例的描述，本公开的其它特征将变得清楚。

附图说明

图1示出了曝光装置和主机计算机的配置。

图2是示出了信息处理设备的硬件配置的框图。

图3是示出了中央处理单元(CPU)的配置的框图。

图4是示出了根据第一实施例的由CPU执行的处理的流程图。

图5A至图5J示出了根据第一实施例的日志数据、日志信息、传输数据等。

图6是示出了根据第二实施例的由CPU执行的处理的流程图。

图7A和图7B示出了根据第二实施例的日志数据、日志信息、传输数据等。

具体实施方式

下面将参考附图详细描述本公开的示例性实施例。在以下的实施例中，将描述曝光装置被用作制造装置的示例。在整个附图中，相同的构件用相同的附图标记指代，并且省略其重复的描述。